特許
J-GLOBAL ID：201003003559004001
共焦点顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-189281
公開番号（公開出願番号）：特開2010-026344
出願日： 2008年07月23日
公開日（公表日）： 2010年02月04日
要約：
【課題】高速且つ正確に被測定物の三次元形状測定を実行することが可能なニポウディスクを用いた走査型の共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】共焦点顕微鏡は、ニポウディスク10と、異なる波長帯域の光を透過させる複数のバンドパスフィルタ11と、ニポウディスク10を回転させる駆動装置13と、ニポウディスク10の回転変位rを測定するロータリエンコーダ14と、光源15と、光の波長に応じてその焦点距離が変化する軸上色収差を有する対物レンズ18と、被測定物S上で反射された光を検出する光検出器20と、光検出器20により検出された被測定物S上での光の合焦状態とロータリエンコーダ14により測定されたニポウディスク10の回転変位rとに基づいて被測定物Sの位置を判定する位置判定部22とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定の様式で配置された複数のピンホールを有するニポウディスクと、
前記ニポウディスク上の複数の所定の領域に設けられそれぞれ異なる波長帯域の光を透過させる複数のバンドパスフィルタと、
被測定物上の複数の点を走査するために前記ニポウディスクを回転させる駆動装置と、
前記ニポウディスクの回転変位を測定するロータリエンコーダと、
前記ニポウディスクを照明する前記複数のバンドパスフィルタの透過帯域を含む光を出射する光源と、
前記ピンホールを通過した光を収束させて前記被測定物上に導くように設けられ光の波長に応じてその焦点距離が変化する軸上色収差を有する対物レンズと、
前記被測定物上で反射された光を前記対物レンズ及び前記ニポウディスクを介して検出する光検出器と、
前記光検出器により検出された前記被測定物上での光の合焦状態と、前記ロータリエンコーダにより測定された前記ニポウディスクの回転変位とに基づいて前記被測定物の位置を判定する位置判定部と
を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2H052AA08
, 2H052AA13
, 2H052AB24
, 2H052AC04
, 2H052AC14
, 2H052AC15
, 2H052AC29
, 2H052AD34
, 2H052AD35
, 2H052AF06
, 2H052AF21
