特許
J-GLOBAL ID：201003003586530408
微細構造転写装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-135174
公開番号（公開出願番号）：特開2010-280129
出願日： 2009年06月04日
公開日（公表日）： 2010年12月16日
要約：
【課題】メンテナンスに時間やコストが掛からず、タクト低減可能で、高精度かつ急速な加熱・冷却性能を達成する微細構造転写装置を提供する。【解決手段】微細構造の熱転写を行う微細構造転写装置は、受圧部2と、加圧部1と、これら受圧部と加圧部の対向面に取り付けられた転写部10とを備えており、転写部は、断熱部材105と、断熱部材表面に取り付けられた加熱冷却部材102と、加熱冷却部材の表面に取り付けられたトッププレート101を備えており、当該トッププレートは、それに代えて、保持部材によって前記加熱冷却部材の表面に取り付けられた平坦補償用のウェハ106又は表面に微細なパターンが形成した金型107とすることができ、更に、トッププレート、又は、ウェハ又は金型は、加熱冷却部材に対して分離可能となっている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
微細構造の熱転写を行う微細構造転写装置であって、
受圧部と、
前記受圧部に対して加圧される加圧部と、
前記受圧部と前記加圧部との対向する面の少なくとも一方の面に取り付けられた転写部とを備えており、
前記転写部は、断熱部材と、当該断熱部材の表面に取り付けられた加熱冷却部材と、当該加熱冷却部材の表面に取り付けられたトッププレートを備えており、かつ、前記トッププレートは、前記加熱冷却部材に対して分離可能であることを特徴とする微細構造転写装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B29C59/02 B
, H01L21/30 502D
4F209AJ03
, 4F209AJ08
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN03
, 4F209PN04
, 4F209PN06
, 4F209PQ11
, 4F209PQ12
, 5F046AA28
