特許

J-GLOBAL ID：201003003832496516

欠陥検出装置、欠陥検出方法および欠陥検出プログラム

発明者： 吉田 光志 ,  天野 敏之
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (7件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-044499
公開番号（公開出願番号）：特開2010-198476
出願日： 2009年02月26日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：

【課題】より正確かつより高速に欠陥検出が可能な学習型の欠陥検出装置、欠陥検出方法および欠陥検出プログラムを提供する。【解決手段】学習画像LNIMGのA-A線に沿って複数の部分領域BLKLNが設定された場合において、判断部は、このような部分領域BLKに対応する距離のうち、下限しきい値ThLと上限しきい値ThHとの間にあるもの(候補画像ベクトル)を学習対象と判断する。一方、距離が下限しきい値ThL以下のもの、および距離が上限しきい値ThH以上のものは、学習対象から除外される。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

学習画像から取得された学習結果に基づいて検査画像における欠陥を検出する欠陥検出装置であって、 前記学習画像に対して指定される基準領域の画像情報から基準画像ベクトルの組を生成する手段と、 前記基準画像ベクトルの組から第1の固有ベクトルを算出する手段と、 算出される前記第1の固有ベクトルを用いて第1の固有空間を決定する手段と、 前記学習画像から部分領域を順次抽出する手段と、 前記部分領域の画像情報から候補画像ベクトルを生成する手段と、 前記候補画像ベクトルと前記第1の固有空間との距離を算出する手段と、 前記距離が所定条件を満たしているか否かを判断する手段と、 前記基準画像ベクトルと、順次抽出される前記部分領域に対応する前記候補画像ベクトルのうちその前記距離が所定条件を満たしている前記候補画像ベクトルと、を含むベクトルの組から第2の固有ベクトルを算出する手段と、 算出される前記第2の固有ベクトルを用いて第2の固有空間を決定する手段と、 前記検査画像の部分領域について、その画像情報から生成される検査画像ベクトルと前記第2の固有空間との距離に基づいて欠陥の有無を判断する手段とを備える、欠陥検出装置。

IPC (2件)：

G06T 1/00 ,  G01N 21/88

FI (2件)：

G06T1/00 300 ,  G01N21/88 J

Fターム (21件)：

2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051AC04 ,  2G051CA04 ,  2G051EA12 ,  2G051ED30 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057BA19 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC03 ,  5B057CD14 ,  5B057CG10 ,  5B057CH01 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC01 ,  5B057DC36