特許

J-GLOBAL ID：201003003916554570

ナノワイヤベースの透明導電体およびその適用

発明者： アレマンド, ピエール-マーク ,  ダイ, ハイシャー ,  ナ, シュオ ,  パクバズ, ハッシュ ,  ペスチェニツカ, フロリアン ,  クアン, シナ ,  セパ, イェレーナ ,  スパイド, マイケル エー.
出願人/特許権者： カンブリオス テクノロジーズ コーポレイション
代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-532614
公開番号（公開出願番号）：特表2010-507199
出願日： 2007年10月12日
公開日（公表日）： 2010年03月04日
要約：

基板上に被膜される導電層を含む、透明導電体が記載される。より具体的には、導電層は、マトリクス内に内蔵され得るナノワイヤのネットワークを備える。導電層は、光学的に透明、かつパターン化可能であって、タッチスクリーン、液晶表示装置、プラズマ表示パネル等の視覚表示デバイス内の透明電極として好適である。本発明の一実施形態によって提供される方法は、基板上にナノワイヤネットワークを形成するステップであって、ナノワイヤネットワークは、複数のナノワイヤを備える、ステップと、パターンに従って、前記ナノワイヤネットワーク上にマトリクスを形成するステップと、ナノワイヤネットワークをエッチングするステップであって、それによって、第2の領域内の非保護ナノワイヤは、溶解される、ステップとを含む。

請求項（抜粋）：

基板上にナノワイヤネットワークを形成するステップであって、前記ナノワイヤネットワークは、複数のナノワイヤを備える、ステップと、 パターンに従って、前記ナノワイヤネットワーク上にマトリクスを形成するステップであって、前記パターンは、前記ナノワイヤネットワークの第1の領域および第2の領域を画定し、前記第1の領域内の前記ナノワイヤネットワークは、マトリクス保護ナノワイヤを備え、前記第2の領域内の前記ナノワイヤネットワークは、非保護ナノワイヤを備える、ステップと、 前記ナノワイヤネットワークをエッチングするステップであって、それによって、前記第2の領域内の前記非保護ナノワイヤは、溶解される、ステップと を含む、方法。

IPC (8件)：

H01B 13/00 ,  H01B 5/14 ,  H01L 31/042 ,  G02F 1/134 ,  B82B 3/00 ,  B82B 1/00 ,  H01J 11/02 ,  H01J 9/02

FI (10件)：

H01B13/00 503B ,  H01B13/00 503D ,  H01B5/14 A ,  H01B5/14 B ,  H01L31/04 R ,  G02F1/1343 ,  B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  H01J11/02 B ,  H01J9/02 F

Fターム (29件)：

2H092HA03 ,  2H092KB13 ,  2H092MA17 ,  2H092NA27 ,  5C027AA02 ,  5C027AA03 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GC06 ,  5C040GC19 ,  5C040JA14 ,  5C040KA01 ,  5C040KB09 ,  5F051DA04 ,  5F051DA19 ,  5F051FA02 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB02 ,  5G307FC02 ,  5G307FC03 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10 ,  5G323BA01 ,  5G323BB01 ,  5G323BB04 ,  5G323CA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 金属ナノ繊維含有組成物およびその用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-029250   出願人：三菱マテリアル株式会社, 大日本塗料株式会社
• 電子放出素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-076384   出願人：ソナック株式会社