特許
J-GLOBAL ID：201003003972706383

液滴吐出装置

発明者：
安 永植

安 永植 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-003457
公開番号（公開出願番号）：特開2010-179299
出願日： 2010年01月09日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：
【課題】ノズル面の上下方向の位置ずれを正確に測定することでワークギャップを極力小さい値に調整することができるギャップ調整装置等を提供する。【解決手段】相互に離間したノズル面103の複数の箇所に対し、上下方向の位置をそれぞれ測定する位置測定手段181と、位置測定手段181に対し機能液滴吐出ヘッド81を移動させるギャップ測定系移動機構24と、機能液滴吐出ヘッド81をワークWに対して上下方向に移動させてワークギャップを微調整する昇降手段132と、位置測定手段181による測定結果に基づいて、昇降手段132を制御する制御手段3と、を備え、制御手段3は、位置測定手段181による複数の測定結果の最も近い位置とワークWの表面との離間距離が設定したワークギャップとなるように、昇降手段132を制御する。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
ワークテーブル上にセットされたワークの表面と前記ワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面との間のワークギャップを、微調整するギャップ調整装置において、 相互に離間した前記ノズル面の複数の箇所に対し、上下方向の位置をそれぞれ測定する位置測定手段と、 前記ノズル面の複数の箇所を前記位置測定手段に順に臨ませるように、前記位置測定手段に対し前記機能液滴吐出ヘッドを前記ワークの表面と平行な平面内において相対的に移動させるギャップ測定系移動機構と、 前記機能液滴吐出ヘッドを前記ワークに対して上下方向に相対的に移動させてワークギャップを微調整する昇降手段と、 前記位置測定手段による測定結果に基づいて、前記昇降手段を制御する制御手段と、を備え、 前記制御手段は、前記位置測定手段による複数の測定結果の最も近い位置と前記ワークの表面との離間距離が設定したワークギャップとなるように、前記昇降手段を制御することを特徴とするギャップ調整装置。
IPC (5件)：
B05C 11/00 ,  G02B 5/20 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  G02F 1/133
FI (5件)：
B05C11/00 ,  G02B5/20 101 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  G02F1/1335 505
Fターム (26件)：
2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA55 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB41 ,  2H048BB42 ,  2H191FA02Y ,  2H191FC16 ,  2H191FC41 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107GG08 ,  3K107GG35 ,  3K107GG36 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042AB00 ,  4F042BA08 ,  4F042DF09 ,  4F042DF15 ,  4F042DF34 ,  4F042DH09
引用特許：
審査官引用 (4件)
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