強誘電体薄膜形成用組成物、強誘電体薄膜の形成方法並びに該方法により形成された強誘電体薄膜

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須田正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-059019
公開番号（公開出願番号）：特開2010-208915
出願日： 2009年03月12日
公開日（公表日）： 2010年09月24日
要約：

【課題】簡便な手法で、従来の強誘電体薄膜よりも大幅に比誘電率を向上し得る、高容量密度の薄膜キャパシタ用途に適した形成用組成物等を提供する。【解決手段】一般式:(PbxLay)(ZrzTi(1-z))O3(0.9<x<1.3、0≦y<0.1、0≦z<0.9)の複合金属酸化物Aに、一般式CnH2n+1COOH(但し、3≦n≦7)で、かつ、上記金属に配位したときに式(1)の構造をとり得る、カルボン酸Bが混合した液状組成物であり、酸化物A構成原料並びにカルボン酸Bがモル比0<B/A<0.2になるように溶解している有機金属化合物溶液からなる。但し、式中、上記一般式CnH2n+1COOHのnを満たす範囲内で、R1,R2,R3,R4,R5,R6は水素、メチル基又はエチル基を示し、MはPb,La,Zr又はTiを示し、mはMの価数を示す。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

PLZT、PZT及びPTからなる群より選ばれた1種の強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成用組成物において、一般式:(PbxLay)(ZrzTi(1-z))O3(式中0.9<x<1.3、0≦y<0.1、0≦z<0.9)で示される複合金属酸化物Aに、一般式CnH2n+1COOH(但し、3≦n≦7)で表され、かつ、上記金属に配位したときに次の式(1)の構造をとり得る、カルボン酸Bが混合した複合金属酸化物の形態をとる薄膜を形成するための液状組成物であり、前記複合金属酸化物Aを構成するための原料並びに前記カルボン酸BがBとAとのモル比B/Aが0<B/A<0.2の範囲内になるように、有機溶媒中に溶解している有機金属化合物溶液からなることを特徴とする強誘電体薄膜形成用組成物。

IPC (12件)：

C01G 25/00 , H01L 21/824 , H01L 27/105 , H01L 41/18 , H01L 41/24 , H01L 27/108 , H01L 41/22 , H01L 21/316 , H01G 4/33 , H01G 4/12 , H01B 3/12 , C01G 23/00

FI (13件)：

C01G25/00 , H01L27/10 444C , H01L41/18 101Z , H01L41/22 A , H01L27/10 651 , H01L41/22 Z , H01L21/316 B , H01L21/316 P , H01G4/06 102 , H01G4/12 397 , H01B3/12 301 , H01B3/12 302 , C01G23/00 C

Fターム (49件)：

4G047CA08 , 4G047CB06 , 4G047CC02 , 4G047CD02 , 4G047CD08 , 4G048AA03 , 4G048AB02 , 4G048AB05 , 4G048AC02 , 4G048AD02 , 4G048AD08 , 4G048AE08 , 5E001AB06 , 5E001AE03 , 5E001AH01 , 5E001AH09 , 5E001AJ02 , 5E082FF05 , 5E082FG03 , 5E082FG46 , 5E082FG54 , 5F058BA11 , 5F058BC03 , 5F058BC04 , 5F058BF46 , 5F058BH03 , 5F058BJ04 , 5F083AD11 , 5F083GA09 , 5F083GA30 , 5F083JA15 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA43 , 5F083JA45 , 5F083PR23 , 5F083PR33 , 5F083PR34 , 5G303AA01 , 5G303AA02 , 5G303AB06 , 5G303BA12 , 5G303CA01 , 5G303CB15 , 5G303CB25 , 5G303CB35 , 5G303CB39 , 5G303DA04 , 5G303DA05

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-328817
金属酸化物薄膜の製膜用のエステル溶媒を用いた組成物および方法とこの薄膜を含む電子デバイス
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-528977 出願人：シンメトリックス・コーポレイション, 三菱マテリアル株式会社
経時変化のない安定性に優れたPb系金属酸化物薄膜形成用溶液
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-239617 出願人：三菱マテリアル株式会社

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