特許
J-GLOBAL ID:201003005365879131

光透過性フィルムの欠陥検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 西川 惠清 ,  森 厚夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-166587
公開番号(公開出願番号):特開2010-008169
出願日: 2008年06月25日
公開日(公表日): 2010年01月14日
要約:
【課題】欠陥検出を高精度で行うことができる光透過性フィルムAの欠陥検出装置を提供する。【解決手段】光透過性フィルムAの欠陥検出装置は、光透過性フィルムAの裏面側に配される観察用補助部材2、前記光透過性フィルムAに表面側から光を照射する照明手段6、前記照明手段6から照射され、光透過性フィルムAで反射された特定波長域の光を受光して撮像する撮像部1、及び前記撮像部1による撮像で得られた画像から光透過性フィルムAの欠陥を検出する検出手段3を具備する。前記観察用補助部材2に、この観察用補助部材2での前記特定波長域の光の反射率を低減する反射率低減化処理が施されている。このため、撮像部1で受光される特定波長域の光における、観察用補助部材2からの反射光の割合が低減し、光透過性フィルムAの欠陥に起因する反射光の強度変化が明りょうになる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光透過性フィルムの裏面側に配される観察用補助部材、 前記光透過性フィルムに一面側から光を照射する照明手段、 前記照明手段から照射され、光透過性フィルムの一面側で反射された特定波長域の光を受光して撮像する撮像部、及び 前記撮像部による撮像で得られた画像から光透過性フィルムの欠陥を検出する検出手段を具備し、 前記観察用補助部材に、この観察用補助部材での前記特定波長域の光の反射率を低減する反射率低減化処理が施されていることを特徴とする光透過性フィルムの欠陥検出装置。
IPC (1件):
G01N 21/892
FI (1件):
G01N21/892 A
Fターム (14件):
2G051AA41 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA04 ,  2G051BA05 ,  2G051BA06 ,  2G051BA08 ,  2G051BB03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051DA06 ,  2G051EA17 ,  2G051EA23
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る