特許
J-GLOBAL ID：201003005538416280
単一の電力段による複数のプラグコイルの制御
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
園田 吉隆
, 小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-551244
公開番号（公開出願番号）：特表2010-520399
出願日： 2008年02月25日
公開日（公表日）： 2010年06月10日
要約：
本発明は、高周波プラズマ生成装置に関し、本装置は、制御信号(V1)により制御されるスイッチ(M)を含む電源回路(2)であって、当該スイッチが、制御周波数で電源回路の出力に電圧(Vinter)を印加する電源回路(2)と;電源回路の出力に並列に配置された少なくとも2つのプラズマ生成回路(BB1、BB2、BB3、BB4)であって、各々がそれ自体の共振周波数を有し、プラズマ生成回路の共振周波数に相当する周波数で電源回路の出力に高レベルの電圧が印加されるとプラズマを生成することができるプラズマ生成回路と;プラズマ生成回路の共振周波数(F1、F2、F3、F4)に基づいて制御周波数を決定し、使用される制御周波数に従って各回路を選択的に制御する制御装置(5)とを備える。
請求項（抜粋）：
-制御信号(V1)により制御されるスイッチ(M)を備える電源回路(2)であって、当該スイッチが、制御信号によって定義される周波数で中間電圧(Vinter)を電源回路の出力に印加する電源回路と、
-電源回路の出力に並列に配置される少なくとも2つのプラズマ生成回路(BB1、BB2、BB3、BB4)であって、各プラズマ生成回路が、固有の共振周波数を有し、且つプラズマ生成回路の共振周波数に概ね相当する周波数で電源回路の出力に高レベルの電圧が印加されるとプラズマを生成することができる、プラズマ生成回路と、
-プラズマ生成回路の共振周波数(F1、F2、F3、F4)の1つに基づいて制御信号の周波数を決定する電源回路用の制御装置(5)であって、使用する制御周波数に従って各プラズマ生成回路を選択的に制御する制御装置と
を備えることを特徴とする高周波プラズマ生成装置。
IPC (3件)：
F02P 3/01
, F01N 3/02
, H02M 9/00
F02P3/01 J
, F01N3/02 321E
, H02M9/00 D
3G019BA03
, 3G019FA02
, 3G019FA03
, 3G090BA01
, 3G090EA04
, 5H790BA05
, 5H790BB15
, 5H790CC01
, 5H790DD01
, 5H790EA01
, 5H790EA16
, 5H790EA26
, 5J500AA01
, 5J500AA41
, 5J500AA67
, 5J500AC92
, 5J500AF14
, 5J500AH10
, 5J500AH25
, 5J500AH29
, 5J500AH33
, 5J500AH39
, 5J500AK13
, 5J500AK29
, 5J500AS16
, 5J500AT01
