特許

J-GLOBAL ID：201003007418839210

反射格子を有するハイブリッド・プレーナ型光波回路

発明者： ピアソン,マット ,  バラクリッシュナン,アショク ,  ビッドニク,サージ
出願人/特許権者： エネブレンス インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 田中 清 ,  村山 みどり
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-530743
公開番号（公開出願番号）：特表2010-506201
出願日： 2007年10月03日
公開日（公表日）： 2010年02月25日
要約：

本発明は、高度に正確な深堀り反応性イオン・エッチング・プロセスを用いてエッチングされたシリコン反射型回折格子が、高い光学性能のシリカ・オン・シリコン導波路デバイス内に形成されたトレンチ内に取り付けられる、ハイブリッド・プレーナ型光波回路に関する。

請求項（抜粋）：

プレーナ型光波回路(PLC)デバイスであって、 入力光ビームを発射するための入力ポートと、 第1の基板上のスラブ導波路であって、上部クラッドと下部クラッドの間のコア層を画定し、その中に下方に前記コア層まで形成されたトレンチを有するスラブ導波路と、 前記入力光ビームを回折するために、前記入力ポートに光学的に結合された前記トレンチ内に取り付けられた第2の基板上に設けられた反射型回折格子と、 前記反射型回折格子によって方向を変えられた前記入力光ビームの少なくとも一部分を出力するための、前記反射型回折格子と光学的に結合された第1の出力ポートと を備え、前記コア層および前記反射型回折格子は、異なる材料から別々に製作される、PLCデバイス。

IPC (3件)：

G02B 6/12 ,  G02B 6/13 ,  G02B 5/18

FI (3件)：

G02B6/12 F ,  G02B6/12 M ,  G02B5/18

Fターム (19件)：

2H147AB17 ,  2H147BA01 ,  2H147CA11 ,  2H147CC02 ,  2H147CC07 ,  2H147CC12 ,  2H147CC14 ,  2H147EA12D ,  2H147EA13D ,  2H147EA14A ,  2H147EA14B ,  2H147FC05 ,  2H147GA16 ,  2H249AA07 ,  2H249AA13 ,  2H249AA37 ,  2H249AA44 ,  2H249AA62 ,  2H249AA64