レーザ加工装置、レーザ加工方法および太陽電池の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-135277
公開番号（公開出願番号）：特開2010-279972
出願日： 2009年06月04日
公開日（公表日）： 2010年12月16日
要約：

【課題】レーザ加工により安定かつ高速に微細な縞状の加工をするレーザ加工装置を得ること。【解決手段】加工対象の被加工面に対してパルスレーザビームを照射して縞状のレーザ加工を行うレーザ加工装置であって、前記被加工面を上にした状態で前記加工対象を保持するとともに搬送する加工対象搬送手段と、前記加工対象上での前記パルスレーザビームの位置を第1の方向に相対的に移動させるレーザビーム移動手段と、パルスレーザビームを出射するレーザ発振器と、前記パルスレーザビームを、隣接する分岐されたレーザビーム同士が前記第1の方向において規定の距離だけ間隔を有するように配置された分岐パターンへ分岐する回折光学素子と、前記回折光学素子で分岐されたパルスレーザビームを前記被加工面上に集光する集光手段と、を備え、前記分岐されたパルスレーザビームと加工対象とを相対的に移動させて前記被加工面に対して縞状のレーザ加工を行う。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

加工対象の被加工面に対してパルスレーザビームを照射して縞状のレーザ加工を行うレーザ加工装置であって、前記被加工面を上にした状態で前記加工対象を保持するとともに前記加工対象を搬送する加工対象搬送手段と、前記加工対象上での前記パルスレーザビームの位置を第1の方向に相対的に移動させるレーザビーム移動手段と、パルスレーザビームを出射するレーザ発振器と、前記パルスレーザビームを、隣接する分岐されたレーザビーム同士が前記第1の方向において規定の距離だけ間隔を有するように配置された分岐パターンへ分岐する回折光学素子と、前記回折光学素子で分岐されたパルスレーザビームを前記被加工面上に集光する集光手段と、

IPC (5件)：

B23K 26/06 , B23K 26/067 , B23K 26/00 , H01S 3/00 , H01L 31/04

FI (5件)：

B23K26/06 Z , B23K26/067 , B23K26/00 H , H01S3/00 B , H01L31/04 H

Fターム (24件)：

4E068AD01 , 4E068CA03 , 4E068CD02 , 4E068CD08 , 4E068CE02 , 4E068CE04 , 4E068DA09 , 5F051AA02 , 5F051CB21 , 5F051CB30 , 5F051GA15 , 5F151AA02 , 5F151CB21 , 5F151CB30 , 5F151GA15 , 5F172AE09 , 5F172AF02 , 5F172EE13 , 5F172NN04 , 5F172NN13 , 5F172NR06 , 5F172NR12 , 5F172NR22 , 5F172ZZ01

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