特許
J-GLOBAL ID:201003008134045318
磁気センサ素子およびそれを用いた電子方位計と磁界検出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-121234
公開番号(公開出願番号):特開2010-271081
出願日: 2009年05月19日
公開日(公表日): 2010年12月02日
要約:
【課題】本発明は、小型化しても、出力電圧波形を高出力・高SN比で得ることができ、外部磁界を高い感度で検出することができる磁気センサ素子およびこれを用いた電子方位計と磁界検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の磁気センサ素子1は、スパイラル状の導体薄膜からなるピックアップコイル6と、該ピックアップコイル6の各同相磁界発生部27A、30Aと重なるように設けられ、該同相磁界発生部27A、30Aの各順方向ライン27、30と交差する通電部9を有する磁気コア3と、ピックアップコイル6と磁気コア3とを絶縁する絶縁層5とを有し、磁気コア3の通電部9に、時間的に変化する電流を、順方向ライン27、30の延在方向と略平行方向(幅方向)に通電して通電部9を励磁し、磁気コア3内の磁束変化によってピックアップコイル6で生じる誘導電圧を出力する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
軟磁性薄膜からなる1つ以上の帯状の通電部を備えた磁気コアと、渦巻き状に巻回された導体薄膜からなるスパイラル状の2つのコイル部が電流の方向を逆向きになるように電気的に接続されて構成され、前記磁気コアの上方または下方に配置されて前記磁気コアの磁束変化による誘導電圧を出力するためのピックアップコイルと、前記磁気コアと前記スパイラルコイル部を絶縁する絶縁層とが少なくとも備えられた磁気センサであって、
前記磁気コアがその通電部を前記2つのスパイラルコイル部の中心を結んだ直線と平行になるように配置され、
前記磁気コアにおける前記スパイラルコイル部の同相磁界発生部と重なり合う領域に、前記スパイラルコイル部の配線と略平行方向に時間的に変化する電流を通電して前記磁気コアの通電部を励磁するための通電用電極が形成されてなることを特徴とする磁気センサ素子。
IPC (2件):
FI (3件):
G01R33/02 B
, G01R33/02 L
, G01C17/30 A
Fターム (5件):
2G017AA01
, 2G017AA03
, 2G017AD04
, 2G017AD05
, 2G017AD65
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