特許

J-GLOBAL ID：201003009254333232

低コンタクト抵抗を示すMOS構造およびその形成方法

発明者： スリラム バラスブラマニアン
出願人/特許権者： グローバルファウンドリーズ・インコーポレイテッド
代理人 (4件)： 早川 裕司 ,  佐野 良太 ,  太田 昌孝 ,  村雨 圭介
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-521843
公開番号（公開出願番号）：特表2010-537425
出願日： 2008年07月18日
公開日（公表日）： 2010年12月02日
要約：

低コンタクト抵抗を示すMOS構造(100,200)と、このようなMOS構造の形成方法が提供される。一方法では、半導体基板(106)が提供され、前記半導体基板上にゲートスタック(146)が形成される。前記半導体基板内に、前記ゲートスタックと整合された不純物ドープ領域(116)が形成される。前記不純物ドープ領域から延びる隣接するコンタクトフィン(186)が形成され、前記コンタクトフィン上に金属シリサイド層(126)が形成される。前記コンタクトフィンの少なくとも1つに存在する前記金属シリサイド層の少なくとも一部に対するコンタクト(122)が形成される。

請求項（抜粋）：

MOS構造(100)の形成方法であって、 半導体基板(106)を提供するステップと、 前記半導体基板上にゲートスタック(146)を形成するステップと、 前記半導体基板内に、前記ゲートスタックと整合された不純物ドープ領域(116)を形成するステップと、 前記不純物ドープ領域から延びる隣接するコンタクトフィン(186)を形成するステップと、 前記コンタクトフィン上に金属シリサイド層(126)を形成するステップと、 前記コンタクトフィンの少なくとも1つに存在する前記金属シリサイド層の少なくとも一部に対するコンタクト(122)を形成するステップと、を含む方法。

IPC (8件)：

H01L 29/78 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  H01L 29/41 ,  H01L 29/417 ,  H01L 21/28

FI (9件)：

H01L29/78 301S ,  H01L29/78 616T ,  H01L29/78 616L ,  H01L29/78 616K ,  H01L21/90 D ,  H01L29/44 S ,  H01L29/50 M ,  H01L21/28 A ,  H01L21/28 301S

Fターム (152件)：

4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA03 ,  4M104AA05 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB39 ,  4M104CC01 ,  4M104DD04 ,  4M104DD08 ,  4M104DD16 ,  4M104DD37 ,  4M104DD45 ,  4M104DD47 ,  4M104DD64 ,  4M104DD66 ,  4M104DD67 ,  4M104DD71 ,  4M104DD78 ,  4M104DD84 ,  4M104FF06 ,  4M104FF14 ,  4M104FF23 ,  4M104FF26 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH14 ,  4M104HH15 ,  5F033GG01 ,  5F033GG02 ,  5F033GG03 ,  5F033HH04 ,  5F033JJ06 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ25 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033KK06 ,  5F033KK25 ,  5F033NN03 ,  5F033NN07 ,  5F033NN12 ,  5F033NN19 ,  5F033NN29 ,  5F033PP03 ,  5F033PP04 ,  5F033PP06 ,  5F033PP08 ,  5F033PP09 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ01 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ28 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ70 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ76 ,  5F033QQ82 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033SS27 ,  5F033TT08 ,  5F033VV15 ,  5F033XX03 ,  5F033XX09 ,  5F110AA07 ,  5F110CC02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE09 ,  5F110EE33 ,  5F110FF02 ,  5F110FF23 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110FF32 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG32 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ21 ,  5F110HJ23 ,  5F110HK05 ,  5F110HK32 ,  5F110HK40 ,  5F110HM02 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN23 ,  5F110NN40 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ19 ,  5F140AA10 ,  5F140AA39 ,  5F140AC36 ,  5F140BA01 ,  5F140BA02 ,  5F140BA03 ,  5F140BA05 ,  5F140BA07 ,  5F140BD07 ,  5F140BE07 ,  5F140BE10 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BG09 ,  5F140BG10 ,  5F140BG11 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG28 ,  5F140BG32 ,  5F140BG38 ,  5F140BG39 ,  5F140BG49 ,  5F140BG51 ,  5F140BG53 ,  5F140BH05 ,  5F140BH06 ,  5F140BH07 ,  5F140BH14 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK09 ,  5F140BK13 ,  5F140BK18 ,  5F140BK21 ,  5F140BK26 ,  5F140BK29 ,  5F140BK34 ,  5F140BK39 ,  5F140CB08 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CE07 ,  5F140CE20