特許

J-GLOBAL ID：201003009640513318

圧電体膜、圧電素子、及び液体吐出装置

発明者： 小林 宏之 ,  坂下 幸雄
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-232005
公開番号（公開出願番号）：特開2010-067756
出願日： 2008年09月10日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：

【課題】より高い圧電性能を得ることが可能な新規なドメイン構造の圧電体膜を提供する。【解決手段】圧電体膜1は、結晶配向性を有する複数のペロブスカイト型酸化物膜1A,1Bが積層されたものである。複数のペロブスカイト型酸化物膜は、互いに隣接する膜の自発分極軸方向が異なるという関係を有している。複数のペロブスカイト型酸化物膜は、互いに隣接する膜の結晶系が異なっていることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

結晶配向性を有する複数のペロブスカイト型酸化物膜が積層された圧電体膜において、 前記複数のペロブスカイト型酸化物膜は、互いに隣接する膜の自発分極軸方向が異なるという関係を有していることを特徴とする圧電体膜。

IPC (6件)：

H01L 41/187 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (7件)：

H01L41/18 101D ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

Fターム (9件)：

2C057AF51 ,  2C057AG47 ,  2C057AP02 ,  2C057AP15 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AP57 ,  2C057BA14