特許
J-GLOBAL ID：201003010826381487
半導体装置の測定装置、及び半導体装置の測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-094928
公開番号（公開出願番号）：特開2010-244659
出願日： 2009年04月09日
公開日（公表日）： 2010年10月28日
要約：
【課題】簡便に半導体装置を測定をすることができる半導体装置の測定装置、及び半導体装置の測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明にかかるSRAMセルアレイ11の測定装置は、温度とワード線電位の対応関係を記述した温度-ワード線電位変換表15と、通常電源端子を介して供給される通常電源と、通常電源と分離され、ワード線電源端子を介して供給され、温度-ワード線電位変換手段に基づいて、測定する温度に対応した電圧に変化するワード線電源を有する。さらに、SRAMセルアレイ11の測定装置は、テスト信号端子を介して入力されたテスト信号によって、通常電源又はワード線電源を選択するワード線電源切替器13と、ワード線電源切替器13によって選択された電源が供給され、選択された電源に応じたワード線電位をSRAMセルアレイ11に供給するワード線電位変換回路12とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
温度とワード線電位の対応関係を記述した温度-ワード線電位変換手段と、
通常電源端子を介して供給される通常電源と、
前記通常電源と分離され、ワード線電源端子を介して供給され、前記温度-ワード線電位変換手段に基づいて、測定する温度に対応した電圧に変化するワード線電源と、
テスト信号端子を介して入力されたテスト信号によって、前記通常電源又は前記ワード線電源を選択するワード線電源切替器と、
前記ワード線電源切替器によって選択された電源が供給され、前記選択された電源に応じたワード線電位を半導体装置に供給するワード線電位供給回路とを備える半導体装置の測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5L106AA02
, 5L106DD22
, 5L106DD25
