特許
J-GLOBAL ID:201003011946493102
薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタアレイ及び画像表示装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-272835
公開番号(公開出願番号):特開2010-103283
出願日: 2008年10月23日
公開日(公表日): 2010年05月06日
要約:
【課題】溶剤乾燥や熱硬化のための熱処理工程を用いずに形成した欠陥の少ない絶縁層を有する薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタアレイ及び画像表示装置を提供すること。【解決手段】バンプ107と、バンプ107により貫通される層間絶縁層105とを含む薄膜トランジスタにおいて、バンプ107がフッ素化合物を含み、層間絶縁層105がフィルム状ホットメルト接着剤の加熱圧着により形成され、バンプがフッ素化合物を含み、フッ素含有量が、0.01wt%以上5wt%以下であることを特徴とする薄膜トランジスタ。【選択図】図1
請求項(抜粋):
バンプと、前記バンプにより貫通される1層以上の絶縁層とを含む薄膜トランジスタにおいて、
前記バンプが導電性であり、前記1層以上の絶縁層のうち少なくとも1層が、ホットメルト接着剤からなることを特徴とする薄膜トランジスタ。
IPC (5件):
H01L 29/786
, G02F 1/136
, G09F 9/30
, H01L 21/336
, H01L 21/768
FI (6件):
H01L29/78 619A
, H01L29/78 612C
, G02F1/1368
, G09F9/30 338
, H01L29/78 616K
, H01L21/90 A
Fターム (110件):
2H092GA17
, 2H092JA26
, 2H092JA36
, 2H092JA38
, 2H092JA42
, 2H092JA48
, 2H092JB13
, 2H092JB23
, 2H092JB32
, 2H092JB38
, 2H092JB58
, 2H092JB63
, 2H092JB69
, 2H092KB25
, 2H092MA10
, 2H092MA12
, 2H092MA34
, 2H092MA37
, 2H092NA27
, 5C094AA43
, 5C094BA03
, 5C094BA27
, 5C094BA43
, 5C094DA13
, 5C094FB14
, 5C094FB15
, 5C094GB10
, 5F033GG03
, 5F033HH07
, 5F033HH08
, 5F033HH11
, 5F033HH13
, 5F033HH14
, 5F033HH31
, 5F033HH38
, 5F033JJ00
, 5F033JJ07
, 5F033JJ11
, 5F033JJ13
, 5F033JJ14
, 5F033JJ31
, 5F033KK07
, 5F033KK08
, 5F033KK11
, 5F033KK13
, 5F033KK14
, 5F033KK31
, 5F033KK38
, 5F033LL01
, 5F033LL09
, 5F033PP26
, 5F033QQ73
, 5F033RR21
, 5F033RR22
, 5F033RR24
, 5F033SS21
, 5F033VV07
, 5F033VV15
, 5F033WW00
, 5F033XX33
, 5F033XX34
, 5F110AA17
, 5F110AA30
, 5F110BB01
, 5F110CC03
, 5F110CC05
, 5F110CC07
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD03
, 5F110DD05
, 5F110EE01
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE07
, 5F110EE42
, 5F110EE43
, 5F110EE44
, 5F110EE48
, 5F110FF01
, 5F110FF02
, 5F110FF27
, 5F110FF29
, 5F110FF36
, 5F110GG01
, 5F110GG05
, 5F110GG42
, 5F110GG58
, 5F110HK01
, 5F110HK02
, 5F110HK03
, 5F110HK04
, 5F110HK07
, 5F110HK21
, 5F110HK32
, 5F110HK33
, 5F110HK42
, 5F110HL02
, 5F110HL22
, 5F110HL27
, 5F110HM04
, 5F110HM18
, 5F110NN03
, 5F110NN22
, 5F110NN27
, 5F110NN32
, 5F110NN40
, 5F110NN72
, 5F110QQ06
引用特許:
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