特許

J-GLOBAL ID：201003013533810994

材料表面の表面状態の測定方法および装置

発明者： ボストロム、ベルント
出願人/特許権者： フィブロ システム アーベー
代理人 (1件)： 森田 順之
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-510258
公開番号（公開出願番号）：特表2010-528316
出願日： 2008年05月21日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：

材料表面に荷重をかけてその表面状態を測定する方法および装置であって、測定対象の材料試料片(40)を第1および第2の圧着面(7、27)の間で所定の荷重で押圧し、その押圧した状態で、圧着面(7、27)のうちの少なくとも一方と接触している材料表面部分の写像を少なくとも1枚生成して、その写像を評価する方法および装置。その押圧を、上記所定の荷重を得るために押圧速度について制御することができ、上記少なくとも1枚の写像を、このプロセス中、選択した1つまたは複数の時点で生成することができる。

請求項（抜粋）：

材料表面に荷重を印加してその表面状態を測定する方法であって、測定対象の材料試料片(40、40′)を第1および第2の圧着面(7、27)との間で所定の荷重で押圧することと、その押圧した状態で、前記圧着面(7、27)のうちの少なくとも一方と接触している材料表面部分の写像を少なくとも1枚生成することと、前記写像を評価することとを含み、 前記押圧が、前記所定の荷重を得るために、押圧速度について制御され、 前記少なくとも1枚の写像が、前記試料片(40、40′)を押圧している間、選択した1つまたは複数の時点において生成されることを特徴とする方法。

IPC (1件)：

G01N 3/08

FI (1件)：

G01N3/08

Fターム (7件)：

2G061AA02 ,  2G061AB01 ,  2G061BA20 ,  2G061CA20 ,  2G061CB01 ,  2G061EB07 ,  2G061EC05