特許
J-GLOBAL ID:201003015219836264

形状測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 稲本 義雄 ,  西川 孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-234251
公開番号(公開出願番号):特開2010-066182
出願日: 2008年09月12日
公開日(公表日): 2010年03月25日
要約:
【課題】高精度の測定を効率よく行うことができる。【解決手段】形状測定装置11において、光学式センサ22が、所定の波長域の測定光を被検物12に照射し、被検物12および光学式センサ22は、測定光の波長域の光を遮断し、測定光の波長域以外の光を透過可能な透過窓32および33を有した筐体14に収納されている。また、透過窓32および33は、測定光の波長域の光を反射または吸収することができる。本発明は、例えば、光学的な手法により物体の形状を三次元的に計測する三次元計測装置に適用できる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
被検物の形状を測定する形状測定装置において、 所定の波長域の測定光を前記被検物に照射する照射手段と、 前記被検物および前記照射手段を収納し、前記測定光の波長域の光を遮断し、前記測定光の波長域以外の光を透過可能な透過部を少なくとも一部に有した筐体と を備えることを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件):
G01B 11/24
FI (1件):
G01B11/24 K
Fターム (18件):
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065DD11 ,  2F065FF04 ,  2F065GG04 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL22 ,  2F065LL28 ,  2F065MM14 ,  2F065MM24 ,  2F065PP04 ,  2F065PP22 ,  2F065UU00
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特開平3-87607号公報
  • 特開昭63-243802号公報
審査官引用 (12件)
全件表示

前のページに戻る