特許
J-GLOBAL ID：201003015440560087

研磨パッド

発明者：
宮澤 文雄

宮澤 文雄 について

, 
佐藤 章子

佐藤 章子 について


出願人/特許権者：
富士紡ホールディングス株式会社

富士紡ホールディングス株式会社 について


代理人 (1件)： 五十嵐 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-252264
公開番号（公開出願番号）：特開2010-082721
出願日： 2008年09月30日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】研磨性能を安定化し被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。【解決手段】研磨パッド20は、研磨面Pを有する発泡構造のウレタン発泡体2と、ウレタン発泡体2の研磨面Pと反対側の面に粘着層11を介して貼り合わされたウレタンシート6と、ウレタンシート6のウレタン発泡体2と反対側の面に粘着層12を介して貼り合わされたウレタンフィルム8と、を備えている。粘着層11は粘着層12より高い粘弾性を有している。ウレタンシート6の圧縮率が3〜9%、ウレタンフィルム8の圧縮率がウレタンシート6より大きい10〜45%に調整されている。ウレタン発泡体2、粘着層11、ウレタンシート6の3層分がヒステリシスロス率30〜50%の特性を有している。研磨面Pでの局所的な圧力がウレタン発泡体2側に吸収され被研磨物に均等化された研磨圧力が掛けられる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被研磨物を研磨加工するための研磨面を有する発泡構造の研磨層と、 前記研磨層の前記研磨面と反対側の面に第1の粘着層を介して貼り合わされ、3%〜9%の圧縮率を有する中間層と、 前記中間層の前記研磨層と反対側の面に第2の粘着層を介して貼り合わされ、前記中間層より大きい圧縮率を有するクッション層と、 を備え、 前記第1の粘着層は前記第2の粘着層より大きい粘弾性を有しており、 前記第1の粘着層を介して貼り合わされた前記研磨層および前記中間層は、厚さが0.25mm〜2.5mmの範囲となるように複数積層して厚さの変位量が75%となるまで一定速さで加圧したのち前記一定速さで除圧したときに、加圧時エネルギと除圧時エネルギとの差の前記加圧時エネルギに対する百分率が30%〜50%の範囲の特性を有することを特徴とする研磨パッド。
IPC (4件)：
B24B 37/00 ,  B32B 5/18 ,  G11B 5/84 ,  B32B 27/40
FI (6件)：
B24B37/00 W ,  B24B37/00 P ,  B24B37/00 M ,  B32B5/18 ,  G11B5/84 A ,  B32B27/40
Fターム (23件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4F100AK01C ,  4F100AK51A ,  4F100AK51E ,  4F100BA05 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10E ,  4F100CB05B ,  4F100CB05D ,  4F100DJ02A ,  4F100DJ03E ,  4F100EC18 ,  4F100GB90 ,  4F100JA06B ,  4F100JA06D ,  5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112GA09
引用特許：
出願人引用 (2件)

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