特許

J-GLOBAL ID：201003015940056555

液晶基板の保管倉庫室

発明者： 神谷 松雄
出願人/特許権者： 株式会社日立プラントテクノロジー
代理人 (2件)： 村上 友一 ,  出口 隆弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-125765
公開番号（公開出願番号）：特開2010-272828
出願日： 2009年05月25日
公開日（公表日）： 2010年12月02日
要約：

【課題】液晶基板の保管倉庫室に設置される搬送装置であるスタッカクレーンの動作に伴う気流の乱れに対して効果的に防止する液晶基板の保管倉庫室を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の液晶基板の保管倉庫室10は、液晶基板を収容するカセットを保管する複数の保管棚20と、複数の保管棚20に沿って配置したレールを走行し、カセットを搬送するスタッカクレーン30と、スタッカクレーン30の走行方向前方で室内の空気を排気する排気手段と、スタッカクレーン30の走行方向後方で排気手段の排気した排気量の空気を給気する給気手段と、スタッカクレーン30の移動制御信号に基づいて、スタッカクレーン30の投影面積と移動距離から生じるスタッカクレーン30の押し退ける空気量を排気手段から排気させると共に給気手段から給気させる制御手段60と、を備えたことを特徴としている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液晶基板を収容するカセットを保管する複数の保管棚と、 前記複数の保管棚に沿って配置したレールを走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、 前記スタッカクレーンの走行方向前方で室内の空気を排気する排気手段と、 前記スタッカクレーンの走行方向後方で前記排気手段の排気した空気量を給気する給気手段と、 前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて、前記スタッカクレーンの投影面積と移動距離から生じる前記スタッカクレーンの押し退ける空気量を前記排気手段から排気させると共に前記給気手段から給気させる制御手段と、 を備えたことを特徴とする液晶基板の保管倉庫室。

IPC (4件)：

H01L 21/673 ,  B65G 1/00 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/06

FI (4件)：

H01L21/68 T ,  B65G1/00 521D ,  B65G49/00 A ,  B65G49/06 Z

Fターム (17件)：

3F022AA08 ,  3F022BB08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022JJ09 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031FA11 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031NA03 ,  5F031NA08 ,  5F031NA13