特許

J-GLOBAL ID：201003016270852360

低消費電流静電容量型検出装置

発明者： 内田 裕之 ,  谷口 満幸 ,  尾高 俊一 ,  仮屋 功 ,  近藤 洋平
出願人/特許権者： ファナック株式会社
代理人 (6件)： 竹本 松司 ,  杉山 秀雄 ,  湯田 浩一 ,  魚住 高博 ,  手島 直彦 ,  白石 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-276715
公開番号（公開出願番号）：特開2010-164553
出願日： 2009年12月04日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：

【課題】高い分解能で位置データを得ることができる低消費電流型の静電容量型検出器を提供する。【解決手段】固定子10と固定子10に対向する移動子20とを備え、固定子10は、周期的に互いに電気的に独立した複数の励振電極11からなる励振電極群と、励振電極群と電気的に独立した受信電極14を有し、移動子20は、励振電極群と同じ数だけ周期的に配置された結合電極21と、結合電極21の全てが接続される送信電極22を有し、励振電極を励振する励振手段30と、受信電極14の検出信号を処理する信号処理部40とを備えた静電容量型検出器において、励振手段30は、励振電極群の配置周期を1周期としたときに180度位相の異なる2つの励振電極に振幅およびタイミングが同じ極性の異なる2つの単発パルス電圧を印加し、2つの励振電極と90度位相が異なる2つの励振電極に振幅及びタイミングが同じで極性の異なる2つの単発パルスを印加する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

固定子と、該固定子に対向し相対移動する移動子とを備え、 前記固定子は、周期的に配置され互いに電気的に独立した複数の励振電極からなる複数組の励振電極群と、前記励振電極群と電気的に独立した受信電極を有し、 前記移動子は、前記励振電極群と対向し周期的に配置された結合電極と、前記複数の結合電極の全てが電気的に接続される前記受信電極と対向して配置された送信電極を有し、 前記励振電極に入力する励振信号を生成する励振手段と、 前記受信電極に現れる検出信号を入力し処理する信号処理手段と、 を備えた静電容量型検出装置において、 該励振手段は、 各励振電極の電圧が各々の基準電位と同じ電圧となっている状態からスタートし、 第1のステップとして、前記励振電極群の配置周期を1周期としたときに、1つまたは複数の励振電極に前記基準電位より高い第1のパルス電圧を印加し、前記励振電極と等価的に180度配置位相の異なる1つまたは複数の励振電極に前記第1のパルス電圧と同じタイミングで前記基準電位より低い第2のパルス電圧を同時に印加する動作を行い、 第2のステップとして、前記第1のステップが完了した後に、前記第1のステップで印加した励振電極とは異なる1つまたは複数の励振電極に、前記基準電位より高い第3のパルス電圧を印加し、前記第3のパルス電圧と同じタイミングで前記基準電位より低い第4のパルス電圧を同時に印加する動作を行い、 第3のステップとして、所定の時間、出力を各々の基準電位と同じ電圧に維持する動作を行い、 前記信号処理手段は、前記励振手段の第1のステップの動作に対応して前記受信電極に現れる第1の検出信号を入力して記憶し、さらに、前記励振手段の第2のステップの動作に対応して前記受信電極に現れる第2の検出信号を入力して記憶し、記憶した該第1の検出信号と該第2の検出信号の組み合わせにより前記結合電極の基準位置が前記1周期を4分した象限のいずれに含まれるかを判別することを特徴とする低消費電流静電容量型検出装置。

IPC (1件)：

G01D 5/245

FI (1件)：

G01D5/245 J

Fターム (4件)：

2F077AA36 ,  2F077NN14 ,  2F077PP01 ,  2F077TT82