力覚センサおよびその組立方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志村浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-170632
公開番号（公開出願番号）：特開2010-008343
出願日： 2008年06月30日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：

【課題】過度な外力が作用しても、ダイアフラム部に障害が生じない構造にする。【解決手段】周囲を台座220で支持された導電性のダイアフラム部210を設け、その下方に配置された土台部410の上面に電極E11〜E15を設ける。ダイアフラム部210の上面には、柱状接続部120を介して盤状受力体110を接続する。盤状受力体110に外力が作用するとダイアフラム部210が撓むので、各電極E11〜E15との間の静電容量値に基づいて外力の検出を行う。盤状受力体110には、下層孔部H11,H12および上層孔部H21,H22が設けられ、これら各孔部内に支柱部材31,32およびストッパ部材41,42が配置されている。支柱部材31,32の下端は台座220に固着されている。盤状受力体110の変位は、台座220の上面およびストッパ部材41,42によって制限される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可撓性をもった薄板からなるダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の周囲を支持する台座と、前記ダイアフラム部の上方に配置された盤状受力体と、前記ダイアフラム部と前記盤状受力体とを接続する柱状接続部と、前記ダイアフラム部の変形状態を電気的に検出することにより、前記台座を固定した状態において前記盤状受力体に作用した力を検出する検出部と、を備え、前記ダイアフラム部の上面および前記台座の上面が第1の基準平面を形成し、前記盤状受力体の下面が前記第1の基準平面に対向する第2の基準平面を形成し、前記盤状受力体に力が作用していない状態において、前記第1の基準平面と前記第2の基準平面とが、所定の間隙をおいて平行な状態に維持されるように構成され、前記台座上面の所定箇所に、前記第1の基準平面に対して垂直上方に伸びる支柱部材の下端が固定され、前記第2の基準平面に対して平行な第3の基準平面によって前記盤状受力体を上層部分と下層部分とに仕切ったときに、前記支柱部材は、その上端が前記上層部分に達する長さを有し、前記盤状受力体の前記下層部分における前記支柱部材が伸びてくる位置に、前記支柱部材の外径よりも大きな内径をもつ下層孔部が形成され、前記盤状受力体の前記上層部分の前記下層孔部の上方に隣接した位置に、前記下層孔部の内径よりも大きな内径をもつ上層孔部が形成され、前記支柱部材は、前記下層孔部を挿通し、その上端が前記第3の基準平面より所定の空隙寸法だけ上方に位置し、前記上層孔部内には、前記下層孔部の内径よりも大きく、前記上層孔部の内径よりも小さい外径をもち、前記支柱部材の上端に固定されたストッパ部材が配置されていることを特徴とする力覚センサ。

IPC (2件)：

G01L 5/16 , G01L 1/26

FI (2件)：

G01L5/16 , G01L1/26 B

Fターム (4件)：

2F051AB06 , 2F051AB09 , 2F051DA03 , 2F051DB03

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平4-148833号公報
力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-352645 出願人：株式会社ワコー, ニッタ株式会社
力/加速度の検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-352613 出願人：株式会社ワコー

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審査官引用 (9件)

静電容量式センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-324111 出願人：ニッタ株式会社
特開平1-035331
特開平1-003532

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