特許

J-GLOBAL ID：201003016315129770

塗布液の塗布装置及び吐出量調整方法

発明者： 鶴岡 保次 ,  平野 梓
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-133477
公開番号（公開出願番号）：特開2010-279865
出願日： 2009年06月02日
公開日（公表日）： 2010年12月16日
要約：

【課題】塗布ヘッドのノズル毎の吐出量を、全ノズル或いは複数のノズルの圧電素子を同時に駆動する状態下であっても正しく測定すること。【解決手段】所定間隔で配置された複数のノズルから塗布液を液滴にして吐出して基板1上に塗布する塗布液の塗布装置10において、各ノズルから吐出された塗布液の液滴をノズル毎に収容する容器21と、ノズル毎に容器21に収容された塗布液の重量を測定する重量測定装置とを有してなるもの。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定間隔で配置された複数のノズルから塗布液を液滴にして吐出して基板上に塗布する塗布液の塗布装置において、 各ノズルから吐出された塗布液の液滴をノズル毎に収容する容器と、 ノズル毎に容器に収容された塗布液の重量を測定する重量測定装置とを有してなることを特徴とする塗布液の塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 11/00 ,  B05C 5/00 ,  B05D 1/26

FI (3件)：

B05C11/00 ,  B05C5/00 101 ,  B05D1/26 Z

Fターム (21件)：

4D075AC07 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC91 ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA34 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA08 ,  4F042BA02 ,  4F042BA12 ,  4F042CA01 ,  4F042CB02 ,  4F042DH09