特許
J-GLOBAL ID:201003016469901475

化合物、感光性組成物および加工基板の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-106223
公開番号(公開出願番号):特開2010-254795
出願日: 2009年04月24日
公開日(公表日): 2010年11月11日
要約:
【課題】硬化前は低粘度であって、硬化後の力学的強度に優れた、感光性組成物を提供する。【解決手段】下記化合物の少なくとも1種と、光重合開始剤を含有する感光性組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
下記のいずれかの化合物。
IPC (6件):
C08F 20/20 ,  C08F 2/48 ,  C08F 265/06 ,  H01L 21/027 ,  C07C 69/54 ,  C07F 7/18
FI (7件):
C08F20/20 ,  C08F2/48 ,  C08F265/06 ,  H01L21/30 502R ,  H01L21/30 502D ,  C07C69/54 Z ,  C07F7/18 K
Fターム (52件):
4H006AA01 ,  4H006AB46 ,  4H006KC14 ,  4H049VN01 ,  4H049VP01 ,  4H049VQ20 ,  4H049VR21 ,  4H049VR43 ,  4H049VU20 ,  4J011AC04 ,  4J011PA69 ,  4J011PC02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA22 ,  4J011QA42 ,  4J011QB24 ,  4J011RA03 ,  4J011UA01 ,  4J011VA04 ,  4J011WA01 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA43 ,  4J026BA50 ,  4J026BB01 ,  4J026DA02 ,  4J026DA08 ,  4J026DA12 ,  4J026DB02 ,  4J026DB05 ,  4J026DB08 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026GA07 ,  4J100AL08Q ,  4J100AL63P ,  4J100AL63Q ,  4J100AL67P ,  4J100AL67Q ,  4J100AL75P ,  4J100BA71P ,  4J100BA71Q ,  4J100BC43Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100DA09 ,  4J100DA22 ,  4J100DA48 ,  4J100JA37 ,  5F046AA28

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