特許
J-GLOBAL ID:201003016469901475
化合物、感光性組成物および加工基板の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-106223
公開番号(公開出願番号):特開2010-254795
出願日: 2009年04月24日
公開日(公表日): 2010年11月11日
要約:
【課題】硬化前は低粘度であって、硬化後の力学的強度に優れた、感光性組成物を提供する。【解決手段】下記化合物の少なくとも1種と、光重合開始剤を含有する感光性組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
下記のいずれかの化合物。
IPC (6件):
C08F 20/20
, C08F 2/48
, C08F 265/06
, H01L 21/027
, C07C 69/54
, C07F 7/18
FI (7件):
C08F20/20
, C08F2/48
, C08F265/06
, H01L21/30 502R
, H01L21/30 502D
, C07C69/54 Z
, C07F7/18 K
Fターム (52件):
4H006AA01
, 4H006AB46
, 4H006KC14
, 4H049VN01
, 4H049VP01
, 4H049VQ20
, 4H049VR21
, 4H049VR43
, 4H049VU20
, 4J011AC04
, 4J011PA69
, 4J011PC02
, 4J011QA03
, 4J011QA22
, 4J011QA42
, 4J011QB24
, 4J011RA03
, 4J011UA01
, 4J011VA04
, 4J011WA01
, 4J026AA43
, 4J026AA45
, 4J026BA28
, 4J026BA29
, 4J026BA43
, 4J026BA50
, 4J026BB01
, 4J026DA02
, 4J026DA08
, 4J026DA12
, 4J026DB02
, 4J026DB05
, 4J026DB08
, 4J026DB36
, 4J026FA05
, 4J026GA07
, 4J100AL08Q
, 4J100AL63P
, 4J100AL63Q
, 4J100AL67P
, 4J100AL67Q
, 4J100AL75P
, 4J100BA71P
, 4J100BA71Q
, 4J100BC43Q
, 4J100CA01
, 4J100CA04
, 4J100DA09
, 4J100DA22
, 4J100DA48
, 4J100JA37
, 5F046AA28
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