特許

J-GLOBAL ID：201003016607790060

変形可能なミラー、ミラー装置、及び露光装置

発明者： 白石 雅之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-175298
公開番号（公開出願番号）：特開2010-045347
出願日： 2009年07月28日
公開日（公表日）： 2010年02月25日
要約：

【課題】ミラーに振動を伝えることなくミラーを裏面側から効率的に変形及び/又は冷却できる装置を提供する。【解決手段】ミラー装置は、ミラーM1の裏面に隔壁部35dによって区分けされた複数の穴部35cと、複数の穴部35cの底面にそれぞれ固定された複数の薄膜圧電素子41と、穴部35cに差し込まれる複数の突部36aを有する放射温調板36と、ミラーM1を変形させるために、その複数の薄膜圧電素子41に加える電圧を個別に制御するミラー制御系40とを備える。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

変形可能なミラーであって、 前記ミラーの裏面を複数の領域に区分けする隔壁と、 前記隔壁によって区分けされた前記複数の領域のそれぞれに固定された薄膜状の複数の圧電素子と、 を備える変形可能なミラー。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 5/10 ,  G02B 17/06

FI (7件)：

H01L21/30 531A ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 516A ,  H01L21/30 516E ,  G03F7/20 521 ,  G02B5/10 B ,  G02B17/06

Fターム (21件)：

2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DA13 ,  2H042DD05 ,  2H042DD13 ,  2H042DE04 ,  2H087KA21 ,  2H087RA27 ,  2H087TA02 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB25 ,  5F046DA13 ,  5F046DA26 ,  5F046DB01 ,  5F046DB05 ,  5F046DC11 ,  5F046GA03 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 反射光学素子及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-177555   出願人：株式会社ニコン
• ミラー冷却装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-194613   出願人：株式会社ニコン