特許
J-GLOBAL ID：201003017325467564
水晶振動片の加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
梅田 明彦
, 上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-022026
公開番号（公開出願番号）：特開2010-178320
出願日： 2009年02月02日
公開日（公表日）： 2010年08月12日
要約：
【課題】ATカット水晶板に水晶振動片の外形をウエットエッチングで加工する工程で、水晶振動片を折り取るための溝を水晶板との連結部に形成した場合にエッチングの入り込みを抑制する。【解決手段】水晶振動片の外形を有する水晶素子片11と水晶板の支持枠部4と水晶素子片を支持枠部に結合する連結部12a,12bとを加工する工程と、連結部を折り取って水晶振動片を切り離す工程とを有する。連結部は、水晶素子片のZ ́方向に延長する横辺に、X方向に延長する互いに対向する各縦辺に沿って延長するように、水晶素子片の外形線に沿って有底の溝14a,14bを形成するように加工される。+Z ́側の溝は連結部の+Y ́側の主面13aに、-Z ́側の溝は-Y ́側の主面13bに配置される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水晶の結晶軸をX軸、Y軸、Z軸として、Y軸及びZ軸をX軸の回りに反時計方向に所定の角度回転させてY ́軸及びZ ́軸とし、Z ́軸とX軸とを含む±Y ́面を表裏主面として切り出したATカット水晶板をフォトエッチングすることにより、水晶振動片の外形を有する水晶素子片と、前記水晶板の支持枠部と、前記水晶素子片を前記支持枠部に結合する連結部とを加工する工程と、前記連結部を折り取ることにより前記水晶振動片を前記支持枠部から切り離す工程とを有し、
前記フォトエッチングによる加工工程において、前記連結部が、前記水晶素子片のZ ́方向に延長する一方の側辺に、X方向に延長する互いに対向する各側辺に沿って延長するように、かつ前記水晶素子片の外形線に沿って有底の溝を形成するように加工され、前記有底の溝が、+Y ́側の主面の+Z ́側にかつ/又は-Y ́側の主面の-Z ́側に配置されることを特徴とする水晶振動片の加工方法。
IPC (4件)：
H03H 3/02
, H01L 41/22
, H01L 41/18
, H01L 41/09
H03H3/02 C
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101A
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108DD02
, 5J108KK01
, 5J108MM11
