特許

J-GLOBAL ID：201003017478130380

金属接合ナノチューブアレイ

発明者： ウィリアム ビー. バルボッサ-カーター ,  アダム エフ. グロス
出願人/特許権者： ザ・ボーイング・カンパニー
代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-013691
公開番号（公開出願番号）：特開2010-171431
出願日： 2010年01月26日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：

【課題】共晶接合により、従来から使用されている接合プロセスよりも大幅に低い圧力下で、ナノチューブを別の表面に接合させることを可能にする。【解決手段】ナノ要素を表面に接合させる方法が記載されている。この方法は、第1金属層を複数のほぼ整列したナノ要素の第1端部に適用し、第2金属層を第1金属層に面するように位置づけし、金属層が、ナノ要素及び基板の間に、共晶接合、金属固溶体、及び合金接合のうちの少なくとも一つを形成するように、ナノ要素、金属層、及び基板全体に圧縮力を付加し、第2金属層に面するナノ要素、金属層、及び基板の温度を上昇させることを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ナノ要素を表面に接合させる方法であって、 第1金属層を、複数のほぼ整列したナノ要素の第1端部に適用するステップ、 第2金属層を第1金属層に面するように位置づけするステップ、 第2金属層に面して、ナノ要素、金属層、及び基板全体に圧縮力を付加するステップ、 金属層が、ナノ要素と基板の間に、共晶接合、金属固溶体、及び合金接合のうちの少なくとも一つを形成するように、ナノ要素、金属層、及び基板の温度を上昇させるステップ を含む方法。

IPC (3件)：

H01L 23/36 ,  H01L 23/373 ,  C01B 31/02

FI (3件)：

H01L23/36 D ,  H01L23/36 M ,  C01B31/02 101F

Fターム (16件)：

4G146AA11 ,  4G146AB06 ,  4G146AB07 ,  4G146AD17 ,  4G146AD20 ,  4G146AD28 ,  4G146CB01 ,  4G146CB03 ,  4G146CB19 ,  4G146CB21 ,  4G146CB26 ,  4G146CB34 ,  5F136FA25 ,  5F136FA71 ,  5F136FA82 ,  5F136GA02