特許

J-GLOBAL ID：201003017580935636

圧電/電歪膜型素子

発明者： 小泉 貴昭 ,  柏屋 俊克
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (4件)： 渡邉 一平 ,  木川 幸治 ,  佐藤 博幸 ,  小池 成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-100980
公開番号（公開出願番号）：特開2010-232666
出願日： 2010年04月26日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：

【課題】屈曲変位が大きく、応力集中に起因するマイクロクラックや格子欠陥等の不具合が発生し難い圧電/電歪膜型素子を提供する。【解決手段】セラミックス製の基体と、チタン酸ジルコン酸鉛系の圧電/電歪磁器組成物からなる多数の結晶粒子10,20で構成された圧電/電歪体からなる膜状の圧電/電歪部と、圧電/電歪部に電気的に接続される膜状の電極とを備え、結晶粒子10,20が、結晶本体部13,23と、結晶本体部13,23の外周の少なくとも一部に配置される、結晶本体部13,23の結晶構造とは異なる結晶構造を有する表層部15,25とを含むものであり、結晶本体部の結晶構造が、少なくとも正方晶を含むものであり、表層部の結晶構造が、菱面晶、単斜晶、及び擬立方晶からなる群より選択される少なくとも一種を含み、圧電/電歪部が、基体に、直接又は電極を介して固着された圧電/電歪膜型素子である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

セラミックス製の基体と、 チタン酸ジルコン酸鉛系の圧電/電歪磁器組成物からなる多数の結晶粒子で構成された圧電/電歪体からなる膜状の圧電/電歪部と、 前記圧電/電歪部に電気的に接続される膜状の電極と、を備え、 前記結晶粒子が、所定の結晶構造を有する結晶本体部と、前記結晶本体部の外周の少なくとも一部に配置される、前記結晶本体部の結晶構造とは異なる結晶構造を有する表層部と、を含むものであり、 前記結晶本体部の結晶構造が、少なくとも正方晶を含むものであり、 前記表層部の結晶構造が、菱面晶、単斜晶、及び擬立方晶からなる群より選択される少なくとも一種を含み、 前記圧電/電歪部が、前記基体に、直接又は前記電極を介して固着された圧電/電歪膜型素子。

IPC (10件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/18 ,  C04B 35/49 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (13件)：

H01L41/08 C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101F ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 S ,  H01L41/08 Q ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 B ,  C04B35/49 R ,  B41J3/04 103A

Fターム (12件)：

2C057AF03 ,  2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4G031AA03 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA14 ,  4G031AA23 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031CA08