電極用チタン材および電極用チタン材の表面処理方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：磯野道造 , 多田悦夫 , 富田哲雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-194963
公開番号（公開出願番号）：特開2010-236083
出願日： 2009年08月26日
公開日（公表日）： 2010年10月21日
要約：

【課題】低コストで、導電性、耐食性、耐水素吸収性に優れた電極用チタン材および電極用チタン材の表面処理方法を提供することを目的とする。【解決手段】電極用チタン材は、純チタン若しくはチタン合金からなるチタン材の表面に、厚さが3nm以上75nm以下であり、かつ、層中における酸素濃度が最大となる部位での酸素とチタンの原子濃度比(O/Ti)が0.3以上1.7以下である酸化チタン層を有し、酸化チタン層の上に、Au,Pt,Pdから選択される少なくとも1種の貴金属、および、Zr,Nb,Ta,Hfから選択される少なくとも1種の非貴金属を含み、貴金属と非貴金属の含有割合(貴金属:非貴金属)が、原子比で、35:65〜95:5であり、かつ2nm以上の厚さの合金層を有することを特徴とする。また、電極用チタン材の表面処理方法は、酸化チタン層形成工程と、合金層形成工程と、熱処理工程と、を含むことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

純チタン若しくはチタン合金からなるチタン材の表面に、厚さが3nm以上75nm以下であり、かつ、層中における酸素濃度が最大となる部位での酸素とチタンの原子濃度比(O/Ti)が、0.3以上1.7以下である酸化チタン層を有し、前記酸化チタン層の上に、Au,Pt,Pdから選択される少なくとも1種の貴金属、および、Zr,Nb,Ta,Hfから選択される少なくとも1種の非貴金属を含み、前記貴金属と前記非貴金属の含有割合(貴金属:非貴金属)が、原子比で、35:65〜95:5であり、かつ2nm以上の厚さの合金層を有することを特徴とする電極用チタン材。

IPC (3件)：

C23C 28/00 , H01M 8/02 , B32B 9/00

FI (3件)：

C23C28/00 B , H01M8/02 B , B32B9/00 A

Fターム (38件)：

4F100AA21B , 4F100AB12A , 4F100AB19C , 4F100AB24C , 4F100AB25C , 4F100AB31C , 4F100BA03 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100EH66C , 4F100EJ12 , 4F100EJ42 , 4F100GB41 , 4F100GB56 , 4F100GB90 , 4F100JB02 , 4F100JD14 , 4F100JG01 , 4F100YY00B , 4F100YY00C , 4K044AB10 , 4K044BA08 , 4K044BA12 , 4K044BB03 , 4K044BC02 , 4K044BC14 , 4K044CA12 , 4K044CA13 , 4K044CA17 , 5H026AA06 , 5H026BB01 , 5H026BB10 , 5H026EE02 , 5H026EE08 , 5H026HH03 , 5H026HH05 , 5H026HH08

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