特許
J-GLOBAL ID：201003017754521682
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-265488
公開番号（公開出願番号）：特開2010-096538
出願日： 2008年10月14日
公開日（公表日）： 2010年04月30日
要約：
【課題】 検知軸が基板の面内方向となる場合でも、駆動モードと検出モードの共振周波数差を小さくして角速度を高感度で検出する。【解決手段】 基板2には駆動質量部5を設け、駆動質量部5を撓み支持梁からなる駆動梁6を用いてX軸方向に振動可能に支持する。また、駆動質量部5の内部には検出質量部7を設け、検出質量部7を検出梁8を用いてZ軸方向に変位可能に支持する。そして、検出梁8は、捩れ支持梁9と、捩れ支持梁9の端部を駆動質量部5および検出質量部7に接続する接続梁10とによって構成する。これにより、捩れ支持梁9の端部に作用する応力を低減することができ、加工ばらつきが駆動モードと検出モードの共振周波数差に与える影響を小さくすることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、
該基板と隙間をもって対向して配置された駆動質量部と、
該駆動質量部と基板とを接続し、前記基板と平行な水平方向に対して該駆動質量部を振動可能に支持する駆動梁と、
前記駆動質量部に設けられた検出質量部と、
該検出質量部と駆動質量部とを接続し、該検出質量部を基板の厚さ方向に向けて変位可能に支持する検出梁と、
前記駆動質量部を水平方向に振動させる振動発生手段と、
前記駆動質量部が振動した状態で前記検出質量部が基板の厚さ方向に向けて変位するときの変位量を検出する変位検出手段とを備えた角速度センサにおいて、
前記検出梁は、前記検出質量部が基板の厚さ方向に変位するときに捩れ変形する捩れ支持梁と、該捩れ支持梁と前記検出質量部との間に設けられると共に該捩れ支持梁と駆動質量部との間に設けられ該捩れ支持梁が捩れ変形するときに該捩れ支持梁の端部側に作用する応力を低減する応力低減接続部とからなり、
前記検出梁は、前記検出質量部を片持ち状態で支持する構成としたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2F105BB02
, 2F105BB15
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
