特許

J-GLOBAL ID：201003017982218086

半導体装置及びその製造方法

発明者： 千田 満
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (2件)： 前田 弘 ,  竹内 祐二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-005047
公開番号（公開出願番号）：特開2010-165744
出願日： 2009年01月13日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：

【課題】工程を簡単にしながらも、多結晶化された半導体層の厚みの変動を低減する。【解決手段】半導体装置1は、基板11の平坦な表面に形成された遮光膜14と、遮光膜14を直接に覆って基板11に形成されると共に、平坦化された表面を有する平坦層15と、遮光膜14に重なるように平坦層15上に形成され、多結晶化された半導体層16とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

全体に亘って平坦な表面を有する基板と、 上記基板の平坦な表面に形成された遮光膜又は下部電極と、 上記遮光膜又は下部電極を直接に覆って上記基板に形成されると共に、平坦化された表面を有する平坦層と、 上記遮光膜の少なくとも一部、又は上記下部電極の少なくとも一部に重なるように上記平坦層上に形成され、多結晶化された半導体層とを備えている ことを特徴とする半導体装置。

IPC (6件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/20 ,  G02F 1/136 ,  G02F 1/135 ,  H01L 27/146

FI (7件)：

H01L29/78 626C ,  H01L29/78 627G ,  H01L29/78 627A ,  H01L21/20 ,  G02F1/1368 ,  G02F1/135 ,  H01L27/14 C

Fターム (137件)：

2H092JA25 ,  2H092JA46 ,  2H092JB54 ,  2H092JB58 ,  2H092KA04 ,  2H092KB22 ,  2H092LA02 ,  2H092MA30 ,  2H092NA19 ,  2H092NA24 ,  2H092NA27 ,  4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118BA05 ,  4M118CA03 ,  4M118CA05 ,  4M118CB01 ,  4M118CB06 ,  4M118CB07 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118EA05 ,  4M118FB09 ,  4M118FB13 ,  4M118FB20 ,  4M118GB04 ,  4M118GB11 ,  5F110AA18 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110BB10 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD25 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE30 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG13 ,  5F110GG16 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL12 ,  5F110HM05 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN40 ,  5F110NN44 ,  5F110NN46 ,  5F110NN54 ,  5F110NN71 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP05 ,  5F110PP23 ,  5F110PP35 ,  5F110PP40 ,  5F110QQ19 ,  5F152AA02 ,  5F152AA06 ,  5F152AA13 ,  5F152BB02 ,  5F152BB08 ,  5F152CC02 ,  5F152CC03 ,  5F152CC04 ,  5F152CD03 ,  5F152CD13 ,  5F152CD14 ,  5F152CD15 ,  5F152CD17 ,  5F152CD24 ,  5F152CE05 ,  5F152CE06 ,  5F152CE07 ,  5F152CE13 ,  5F152CE14 ,  5F152CE16 ,  5F152CE24 ,  5F152CE45 ,  5F152CF13 ,  5F152CF14 ,  5F152CF15 ,  5F152EE01 ,  5F152EE02 ,  5F152EE03 ,  5F152FF01 ,  5F152FF03 ,  5F152FF04 ,  5F152FF05 ,  5F152FF06 ,  5F152FF07 ,  5F152FF08 ,  5F152FF09 ,  5F152FF47 ,  5F152FG01 ,  5F152FG04 ,  5F152FG13 ,  5F152FG23 ,  5F152FH02 ,  5F152FH03 ,  5F152FH05 ,  5F152FH13