特許

J-GLOBAL ID：201003018605752147

薄膜トランジスタ、その製造方法および表示装置

発明者： 守口 正生 ,  中谷 喜紀 ,  星野 淳之 ,  水木 敏雄 ,  齊藤 裕一
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (3件)： 島田 明宏 ,  川原 健児 ,  奥田 邦廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-022391
公開番号（公開出願番号）：特開2010-182716
出願日： 2009年02月03日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：

【課題】大きなオン電流を維持したままオフ電流を低減するとともに、製造が容易なLDD領域を備える薄膜トランジスタを提供する。【解決手段】平面視において、ドレイン電極171をゲート電極121から所定の距離だけ離して形成することによって、LDD領域165となるオーミックコンタクト層161を水平方向に形成する。この場合、LDD領域165は、ゲート電極121の電位に基づく電界の影響を受けにくくなり、実質的にドレイン電極171の電位に基づく電界による電界集中のみを緩和する。したがって、TFT100は、結晶性シリコン膜からなるチャネル領域141cを形成することにより、大きなオン電流を維持することができると同時に、オフ電流を十分低減することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

絶縁性基板に形成されたボトムゲート型の薄膜トランジスタであって、 前記絶縁性基板上に形成されたゲート電極と、 前記ゲート電極上に形成されたゲート絶縁膜と、 前記ゲート絶縁膜上に形成され、前記ゲート電極と対向するチャネル領域と、前記チャネル領域を挟むように形成されたソース領域およびドレイン領域とを有する半導体層と、 前記半導体層上に形成されたソース電極およびドレイン電極と、 前記ソース電極と前記ソース領域との間、および、前記ドレイン電極と前記ドレイン領域との間にそれぞれ形成されたオーミックコンタクト層とを備え、 前記半導体層は、微結晶半導体層および多結晶半導体層のいずれかを含み、 前記ドレイン電極は、前記ドレイン電極上に形成された前記オーミックコンタクト層の一部と重なるとともに、平面視において前記ゲート電極の端部から所定の距離を隔てて配置されていることを特徴とする、薄膜トランジスタ。

IPC (5件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/20

FI (10件)：

H01L29/78 616T ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/78 618E ,  H01L29/78 616K ,  H01L29/78 616U ,  H01L29/78 618A ,  H01L29/78 627G ,  H01L29/78 616A ,  H01L29/58 G ,  H01L21/20

Fターム (84件)：

4M104AA01 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104CC05 ,  4M104DD37 ,  4M104DD64 ,  4M104DD65 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG20 ,  5F110AA06 ,  5F110AA16 ,  5F110AA17 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE15 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG19 ,  5F110GG22 ,  5F110GG35 ,  5F110GG45 ,  5F110HK02 ,  5F110HK04 ,  5F110HK08 ,  5F110HK09 ,  5F110HK15 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK22 ,  5F110HK25 ,  5F110HK27 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110HL07 ,  5F110HL23 ,  5F110HM13 ,  5F110HM15 ,  5F110NN02 ,  5F110NN16 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP06 ,  5F110PP23 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ05 ,  5F152AA02 ,  5F152AA06 ,  5F152BB03 ,  5F152CC02 ,  5F152CC03 ,  5F152CC04 ,  5F152CD14 ,  5F152CD17 ,  5F152CD24 ,  5F152CE04 ,  5F152CE05 ,  5F152CE14 ,  5F152FF03 ,  5F152FF06 ,  5F152FF13 ,  5F152FF22 ,  5F152FF29 ,  5F152FF47 ,  5F152FG18 ,  5F152FG23