感光性樹脂組成物、パターン形成方法、及び半導体装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 中村和広 , 小野田浩之 , 齋藤都子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-176634
公開番号（公開出願番号）：特開2010-009052
出願日： 2009年07月29日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：

【課題】電気・電子材料の製造に有用な塗膜として、銅又は銅合金上で高い解像度の硬化レリーフパターンを与える感光性樹脂組成物、これを用いたパターン形成方法、及び該パターン形成方法により形成されたポリイミドのパターンを有する半導体装置の提供。【解決手段】(A)側鎖にメタクロイルオキシアルキル基を有するポリイミド前駆体100質量部、(B)感光剤1〜40質量部、及び(C)下記一般式(3):で表される構造を有する化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種のフェノール化合物0.01〜20質量部、を含む感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1):

IPC (5件)：

G03F 7/004 , G03F 7/038 , C08G 73/12 , C08F 2/44 , C08F 290/14

FI (5件)：

G03F7/004 501 , G03F7/038 504 , C08G73/12 , C08F2/44 B , C08F290/14

Fターム (107件)：

2H125AC32 , 2H125AC66 , 2H125AD06 , 2H125AE03P , 2H125AN21P , 2H125AN23P , 2H125AN55P , 2H125AN57P , 2H125AN61P , 2H125AN64P , 2H125AN65P , 2H125AN84P , 2H125BA01P , 2H125BA05P , 2H125BA09P , 2H125BA11P , 2H125BA22P , 2H125CA13 , 2H125CB06 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 4J011PA33 , 4J011PB24 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QB17 , 4J011SA00 , 4J011WA01 , 4J043PA19 , 4J043QB31 , 4J043SA06 , 4J043SA42 , 4J043SA43 , 4J043SA47 , 4J043SA62 , 4J043SA64 , 4J043SB01 , 4J043TA14 , 4J043TB01 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA231 , 4J043UA261 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB311 , 4J043YB07 , 4J043YB08 , 4J043YB22 , 4J043ZB22 , 4J043ZB47 , 4J127AA03 , 4J127AA04 , 4J127AA06 , 4J127BB081 , 4J127BB082 , 4J127BB221 , 4J127BB222 , 4J127BC031 , 4J127BC032 , 4J127BC151 , 4J127BC152 , 4J127BD261 , 4J127BD262 , 4J127BE24Y , 4J127BE241 , 4J127BE242 , 4J127BF44Y , 4J127BF441 , 4J127BF442 , 4J127BF53Y , 4J127BF531 , 4J127BF532 , 4J127BG05Y , 4J127BG051 , 4J127BG052 , 4J127BG12Y , 4J127BG121 , 4J127BG122 , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127BG172 , 4J127BG25Y , 4J127BG251 , 4J127BG252 , 4J127CB281 , 4J127CC131 , 4J127DA21 , 4J127FA17 , 4J127FA18 , 4J127FA38 , 4J127FA41

前のページに戻る