特許

J-GLOBAL ID：201003019113224656

表示装置の製造方法

発明者： 安芸 祐一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-252067
公開番号（公開出願番号）：特開2010-087064
出願日： 2008年09月30日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：

【課題】ウェハ上の各領域に配列形成された発光素子を無駄なく装置基板上に移載することが可能で、これによりコストの削減を図ることが可能な表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】複数の発光素子が配列形成されたウェハWを、発光素子が所定状態で複数配列されたブロックb毎に分割する。分割された各ブロックbを、第1中継基板S1上に所定状態に再配列した状態で移載する。第1中継基板S1上に移載された各ブロックbを発光素子毎に分割し、分割された各発光素子を所定状態で次の基板上に移載する。第1中継基板S1上に各ブロックbを移載する際には、各ブロックbに配列された複数の発光素子の特性平均を測定し、第1中継基板S1の面内において特性平均の分布が均一化するように、第1中継基板上に各ブロックbを再配列して移載する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

複数の発光素子が配列形成されたウェハを、当該発光素子が所定状態で複数配列されたブロック毎に分割する第1工程と、 分割された前記各ブロックを、中継基板上に所定状態に再配列した状態で移載する第2工程と、 前記中継基板上に移載された前記各ブロックを前記発光素子毎に分割する第3工程と、 前記分割された各発光素子を所定状態で基板上に移載する第4工程とを行なう 表示装置の製造方法。

IPC (1件)：

H01L 33/48

FI (1件)：

H01L33/00 N

Fターム (5件)：

5F041AA05 ,  5F041AA31 ,  5F041DA13 ,  5F041DA20 ,  5F041FF06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 素子転写方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-330572   出願人：ソニー株式会社