樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-075881
公開番号（公開出願番号）：特開2010-229210
出願日： 2009年03月26日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：

【課題】200°C以下の低温焼成時においても機械特性に優れた硬化膜を得ることのできる樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)アルコキシメチル基またはメチロール基を有するポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリアミドイミド、それらいずれかの前駆体またはそれらの共重合体、および(b)アルコキシメチル基またはメチロール基を少なくとも2つ有する化合物を含有する樹脂組成物。さらに(c)熱酸発生剤を含有する樹脂組成物。さらに(d)光酸発生剤を含有させることにより、ポジ型またはネガ型のパターン形成が可能となり、あるいは(e)不飽和結合を有する化合物と(f)光重合開始剤を含有させることで、ネガ型のパターン形成が可能となる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)アルコキシメチル基またはメチロール基を有するポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリアミドイミド、それらいずれかの前駆体またはそれらの共重合体、および(b)アルコキシメチル基またはメチロール基を少なくとも2つ有する化合物を含有する樹脂組成物。

IPC (8件)：

C08L 79/08 , C08L 79/04 , C08K 5/13 , C08K 5/34 , G03F 7/004 , G03F 7/023 , G03F 7/037 , H01L 21/027

FI (10件)：

C08L79/08 Z , C08L79/08 A , C08L79/08 C , C08L79/04 B , C08K5/13 , C08K5/34 , G03F7/004 501 , G03F7/023 , G03F7/037 501 , H01L21/30 502R

Fターム (37件)：

2H125AC36 , 2H125AD06 , 2H125AE03P , 2H125AE04P , 2H125AE22P , 2H125AF04P , 2H125AN54P , 2H125BA05P , 2H125BA22P , 2H125CA12 , 2H125CB02 , 2H125CB06 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC13 , 2H125CC21 , 4J002CM021 , 4J002CM041 , 4J002EA049 , 4J002EA069 , 4J002EE058 , 4J002EH079 , 4J002EJ066 , 4J002EP029 , 4J002EQ038 , 4J002ET016 , 4J002EU106 , 4J002EU186 , 4J002EV237 , 4J002EV257 , 4J002EV298 , 4J002EW178 , 4J002FD147 , 4J002FD208 , 4J002GQ01 , 4J002GQ03 , 4J002GQ05

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