特許
J-GLOBAL ID：201003019856111422

光学素子および光学素子の製造方法

発明者：
松尾 泰秀

松尾 泰秀 について

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大塚 賢治

大塚 賢治 について

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澤井 丈徳

澤井 丈徳 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-278941
公開番号（公開出願番号）：特開2010-107680
出願日： 2008年10月29日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
要約：
【課題】厚さ方向に屈折率が変化した接合膜を有し、この接合膜を介して2つの光学部品同士を高い寸法精度で強固に接合したことによって、耐光性および光学特性に優れた光学素子、およびかかる光学素子を容易に製造可能な光学素子の製造方法を提供すること。【解決手段】積層光学素子5は、第1の光学部品2および第2の光学部品4を用意し、第1の光学部品2の表面上に、プラズマ重合法により、接合膜3を成膜する第1の工程と、接合膜3をプラズマに曝すことにより、接合膜3にエネルギーを付与し、接着性を発現させる第2の工程と、接合膜3を介して第1の光学部品2と第2の光学部品4とを接合し、積層光学素子5を得る第3の工程とを経て製造されたものであり、プラズマ重合法における成膜条件を徐々に変化させることにより、接合膜3の屈折率が第1の光学部品2の屈折率と第2の光学部品4の屈折率とをつなぐように変化していることを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
光透過性を有する第1の光学部品および第2の光学部品と、プラズマ重合法により成膜され、シロキサン(Si-O)結合を含むランダムな原子構造を有するSi骨格と、該Si骨格に結合する脱離基とを含み、前記第1の光学部品と前記第2の光学部品とを接合する接合膜とを有し、 前記接合膜の少なくとも一部の領域にエネルギーを付与し、前記接合膜の表面に存在する前記脱離基が前記Si骨格から脱離することにより、前記接合膜に発現した接着性によって、前記第1の光学部品と前記第2の光学部品とが接合されており、 前記接合膜は、その屈折率が、厚さ方向に沿って連続的または段階的に変化している部分を有することを特徴とする光学素子。
IPC (5件)：
G02B 5/30 ,  G02B 7/00 ,  G02B 1/04 ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/56
FI (5件)：
G02B5/30 ,  G02B7/00 F ,  G02B1/04 ,  C23C16/42 ,  C23C16/56
Fターム (26件)：
2H043AE02 ,  2H149AB01 ,  2H149AB14 ,  2H149AB18 ,  2H149DA02 ,  2H149DA03 ,  2H149DA12 ,  2H149EA05 ,  2H149EA23 ,  2H149EA27 ,  2H149EA29 ,  2H149FA41Y ,  2H149FA44Y ,  2H149FD25 ,  4K030AA01 ,  4K030AA16 ,  4K030BA44 ,  4K030CA05 ,  4K030CA06 ,  4K030CA12 ,  4K030DA08 ,  4K030FA03 ,  4K030JA01 ,  4K030JA09 ,  4K030JA16 ,  4K030JA18
引用特許：
出願人引用 (2件)

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