特許
J-GLOBAL ID：201003021830559942
光源ユニット及びこの光源ユニットを具備した製版露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 吉雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-040309
公開番号（公開出願番号）：特開2010-197540
出願日： 2009年02月24日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：
【課題】 本発明の目的は、感光膜の硬化を十分に得られる光源ユニット及びこの光源ユニットを具備した製版露光装置を提供することにある。【解決手段】 第1の発明に係る製版露光装置は、複数の固体発光素子を備える光源ユニットと、該光源ユニットからの紫外線を照射される被照射物が載置される載置台と、を有する製版用露光装置において、該光源ユニット又は該載置台には、該光源ユニットと該載置台とを相対的に移動させる駆動手段が設けられ、該複数の固体発光素子は、紫外線を出射する第1の固体発光素子と、該第1の固体発光素子が出射する紫外線より短い波長の紫外線を出射する第2の固体発光素子との少なくとも2つの紫外線を出射する固体発光素子からなり、該光源ユニットが該載置台に対して相対的に移動される方向のならびで、第1の固体発光素子の後に第2の固体発光素子が配置されることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の固体発光素子を備える光源ユニットと、
該光源ユニットからの紫外線を照射される被照射物が載置される載置台と、
を有する製版用露光装置において、
該光源ユニット又は該載置台には、該光源ユニットと該載置台とを相対的に移動させる駆動手段が設けられ、
該複数の固体発光素子は、紫外線を出射する第1の固体発光素子と、該第1の固体発光素子が出射する紫外線より短い波長の紫外線を出射する第2の固体発光素子との少なくとも2つの紫外線を出射する固体発光素子からなり、
該光源ユニットが該載置台に対して相対的に移動する方向のならびで、第1の固体発光素子の後に第2の固体発光素子が配置される
ことを特徴とする製版露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20
, H01L 33/00
, G03G 15/04
G03F7/20 511
, H01L33/00 L
, G03G15/04 111
2H076AB05
, 2H076AB42
, 2H076AB48
, 2H076EA04
, 2H097AA04
, 2H097BB02
, 2H097CA03
, 2H097CA12
, 2H097EA05
, 2H097FA02
, 2H097GA00
, 2H097LA05
, 5F041FF16
