特許
J-GLOBAL ID：201003022806126853
反射防止膜、及びこれを有する光学素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-099341
公開番号（公開出願番号）：特開2010-250069
出願日： 2009年04月15日
公開日（公表日）： 2010年11月04日
要約：
【課題】使用する環境の湿度が変化した場合においても反射防止性能の変動・劣化が小さい反射防止膜、及びその反射防止膜を用いた光学素子を提供する。【解決手段】基板上に、順に第1層〜第8層を積層してなる反射防止膜であって、波長400〜680 nmにおいて、基板の屈折率が1.43〜2.11であり、第1、3、5、7層が屈折率1.9〜2.6の高屈折率材料膜からなり、第2、4、6層が屈折率1.37〜1.47の低屈折率材料膜からなり、第8層が屈折率1.20〜1.30の超低屈折率材料膜からなり、第1層の光学膜厚が10〜160 nm、第2層の光学膜厚が2〜70 nm、第3層の光学膜厚が60〜140 nm、第4層の光学膜厚が2〜30 nm、第5層の光学膜厚が135〜180 nm、第6層の光学膜厚が30〜40 nm、第7層の光学膜厚が40〜60 nm、第8層の光学膜厚が120〜150 nmであることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に、前記基板側から順に第1層〜第8層を積層してなる反射防止膜であって、波長400〜680 nmにおいて、
前記基板の屈折率が1.43〜2.11であり、
前記第1層が光学膜厚10〜160 nm、屈折率1.9〜2.6の高屈折率材料膜からなり、
前記第2層が光学膜厚2〜70 nm、屈折率1.37〜1.47の低屈折率材料膜からなり、
前記第3層が光学膜厚60〜140 nm、屈折率1.9〜2.6の高屈折率材料膜からなり、
前記第4層が光学膜厚2〜30 nm、屈折率1.37〜1.47の低屈折率材料膜からなり、
前記第5層が光学膜厚135〜180 nm、屈折率1.9〜2.6の高屈折率材料膜からなり、
前記第6層が光学膜厚30〜40 nm、屈折率1.37〜1.47の低屈折率材料膜からなり、
前記第7層が光学膜厚40〜60 nm、屈折率1.9〜2.6の高屈折率材料膜からなり、
前記第8層が光学膜厚120〜150 nm、屈折率1.20〜1.30の超低屈折率材料膜からなることを特徴とする反射防止膜。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2K009AA09
, 2K009BB01
, 2K009BB02
, 2K009CC03
, 2K009CC06
, 2K009CC09
, 2K009DD02
, 2K009DD03
, 2K009DD06
