特許

J-GLOBAL ID：201003023476493265

光学素子が搭載された光導波路基板及びその製造方法

発明者： 山路 忠寛
出願人/特許権者： パナソニック電工株式会社
代理人 (3件)： 鮫島 睦 ,  田中 光雄 ,  柴田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-117583
公開番号（公開出願番号）：特開2010-266662
出願日： 2009年05月14日
公開日（公表日）： 2010年11月25日
要約：

【課題】光軸のずれが抑制された高精密な光導波路基板及びその製造方法を提供する。【解決手段】光学素子と、該光学素子に光学的に接続された光導波路3と、を備える光導波路基板を作製する方法において、エッチング可能な基板4と、該基板の一方の面に設けられたエッチングストップ部材2と、を有する複合基板を準備し、上記エッチング可能な基板上に、所望のパターンを有するマスクを形成する。その後、上記エッチング可能な基板に異方性エッチングを施して上記エッチングストップ部材まで上記基板を腐食させ、所望の幅となった時点でエッチングを停止して、当該基板に溝部3を形成し、上記溝部内に光伝播部5を形成する。【選択図】図1B

請求項（抜粋）：

光学素子と、該光学素子に光学的に接続された光導波路と、を備える光導波路基板を作製する方法であって、 エッチング可能な基板と、該基板の一方の面に設けられたエッチングストップ部材と、を有する複合基板を準備する工程と、 上記エッチング可能な基板上に、所望のパターンを有するマスクを形成する工程と、 上記エッチング可能な基板に異方性エッチングを施して上記エッチングストップ部材まで上記基板を腐食させ、所望の幅となった時点でエッチングを停止して、当該基板に溝部を形成する工程と、 上記溝部内に光伝播部を形成する工程と、 を備えることを特徴とする光導波路基板の製造方法。

IPC (4件)：

G02B 6/13 ,  G02B 6/122 ,  G02B 6/42 ,  H01S 5/022

FI (4件)：

G02B6/12 M ,  G02B6/12 B ,  G02B6/42 ,  H01S5/022

Fターム (66件)：

2H137AB05 ,  2H137AB06 ,  2H137AB11 ,  2H137BA12 ,  2H137BA20 ,  2H137BA55 ,  2H137BA58 ,  2H137BB03 ,  2H137BB13 ,  2H137BB26 ,  2H137BC51 ,  2H137CA12A ,  2H137CA12B ,  2H137CA18F ,  2H137CA34 ,  2H137CA73 ,  2H137CC01 ,  2H137EA04 ,  2H137EA06 ,  2H137EA07 ,  2H137EA11 ,  2H137EA13 ,  2H147AB04 ,  2H147AB05 ,  2H147AB31 ,  2H147BD10 ,  2H147BG02 ,  2H147BG05 ,  2H147BG06 ,  2H147BG13 ,  2H147CA04 ,  2H147CA13 ,  2H147CB06 ,  2H147CC11 ,  2H147CD10 ,  2H147EA10D ,  2H147EA13C ,  2H147EA13D ,  2H147EA14D ,  2H147EA16A ,  2H147EA17A ,  2H147EA19A ,  2H147EA20A ,  2H147FA03 ,  2H147FA05 ,  2H147FA06 ,  2H147FA09 ,  2H147FA18 ,  2H147FA21 ,  2H147FA27 ,  2H147FB04 ,  2H147FC02 ,  2H147FC03 ,  2H147FD03 ,  2H147FF05 ,  5F173MB03 ,  5F173MC03 ,  5F173MC26 ,  5F173MD03 ,  5F173MD37 ,  5F173MD63 ,  5F173ME23 ,  5F173ME77 ,  5F173ME87 ,  5F173MF03 ,  5F173MF22