特許
J-GLOBAL ID：201003024527266060
異常原因解析装置、異常原因解析方法、異常原因解析プログラム、及び、プログラム記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山崎 宏
, 田中 光雄
, 仲倉 幸典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-137283
公開番号（公開出願番号）：特開2010-283274
出願日： 2009年06月08日
公開日（公表日）： 2010年12月16日
要約：
【課題】JITモデリングによる予測特性に異常が発生した場合でも異常原因を特定できる。【解決手段】異常過去データ抽出部5は、記憶部4の過去データに関して、異常製造品の運転データとの距離が設定距離以下の過去データを、異常過去データとして抽出する。正常過去データ抽出部6は、上記異常過去データが処理装置9で処理された時刻から所定の時間範囲内に処理された運転データと良品と判定された特性データとの対を、正常過去データとして抽出する。モデル作成部7は、上記正常過去データに基づいて、原因解析用モデルを作成する。解析部8は、異常特性と判定された製造品について、異常原因を、上記原因解析用モデルに基づく変数毎の寄与率によって特定する。こうすることにより、JITモデリングによる特性予測の場合でも、正常過去データをよく説明できる原因解析用モデルに基づいて、運転データの中から異常の原因となった運転データを特定できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
素材に処理を施して製造品を製造する処理装置による処理条件、および、上記処理装置によって測定された上記処理に関する測定値を、運転データとして収集する運転データ収集部と、
上記処理装置によって製造された製造品の特性を表す特性値を、特性データとして収集する特性データ収集部と、
複数の製造品に関する上記運転データと上記特性データとの組み合わせを、過去データとして記憶する記憶部と、
上記収集された特性データが異常値を呈した場合に、上記記憶部から、予め設定された設定異常運転データとの距離が予め設定された設定距離以下である運転データを含む過去データを、異常過去データとして抽出する異常過去データ抽出部と、
上記記憶部から、上記異常過去データを呈する製造品の何れかが上記処理装置で処理された時刻から予め設定された設定時間内に処理された運転データと、この運転データと対をなす特性データであって良品と判定された特性データとの、組み合わせである過去データを、正常過去データとして抽出する正常過去データ抽出部と、
上記正常過去データ抽出部によって抽出された正常過去データに基づいて、原因解析用モデルを作成するモデル作成部と、
異常特性であると判定された異常製造品に関して、上記モデル作成部によって作成された原因解析用モデルに基づいて、特性が異常となった異常原因を、当該異常製造品の運転データの中から特定する解析部と
を備えたことを特徴とする異常原因解析装置。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, G05B 19/418
, G06Q 50/00
, H01L 21/66
H01L21/02 Z
, G05B19/418 Z
, G06F17/60 106
, H01L21/66 Z
3C100AA51
, 3C100BB27
, 3C100EE06
, 4M106AA01
, 4M106DJ18
, 4M106DJ20
, 4M106DJ21
, 4M106DJ38
