特許
J-GLOBAL ID:201003024554813839
圧電デバイス
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-019191
公開番号(公開出願番号):特開2010-178114
出願日: 2009年01月30日
公開日(公表日): 2010年08月12日
要約:
【課題】音叉型圧電振動素子の振動腕部の先端部を浮かし、音叉型圧電振動素子の発振周波数が変動しない圧電デバイスの提供。【解決手段】基板部と、この基板部の一方の主面に枠部が設けられて、凹部空間111が形成された容器体110と、凹部空間内に露出しつつ基板部の一方の主面に設けられた2個一対の圧電振動素子搭載パッド113a、113bに搭載され、第1の基部121aと第1の基部より幅の狭い第2の基部121bと、第2の基部の側面より同一の方向に延出する2本の振動腕部121cとを備えた音叉型圧電振動素子120と、凹部空間を気密封止する蓋体130と、圧電振動素子搭載パッドに設けられた支持バンプBPと、を備え、支持バンプBPが、音叉型圧電振動素子の第2の基部の位置になるように設けられている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板部と、この基板部の一方の主面に枠部が設けられて、凹部空間が形成された容器体と、
前記凹部空間内に露出しつつ基板部の一方の主面に設けられた2個一対の圧電振動素子搭載パッドに搭載され、第1の基部と前記第1の基部より幅の狭い第2の基部と、前記第2の基部の側面より同一の方向に延出する2本の振動腕部とを備えた音叉型圧電振動素子と、
前記凹部空間を気密封止する蓋体と、
前記圧電振動素子搭載パッドに設けられた支持バンプと、を備え、
前記支持バンプが、前記音叉型圧電振動素子の第2の基部の位置になるように設けられていることを特徴とする圧電デバイス。
IPC (3件):
H03H 9/10
, H03H 9/05
, H03B 5/32
FI (3件):
H03H9/10
, H03H9/05
, H03B5/32 H
Fターム (27件):
5J079AA04
, 5J079BA39
, 5J079BA43
, 5J079BA48
, 5J079FA01
, 5J079HA03
, 5J079HA07
, 5J079HA09
, 5J079HA10
, 5J079HA11
, 5J079HA14
, 5J079HA25
, 5J079HA30
, 5J108AA02
, 5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108EE14
, 5J108EE18
, 5J108FF11
, 5J108FF14
, 5J108GG03
, 5J108GG16
, 5J108KK03
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