特許
J-GLOBAL ID:201003024693393100
新規なフッ素化テトラカルボン酸二無水物、これより得られるポリイミド前駆体、ポリイミドとその利用
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-309647
公開番号(公開出願番号):特開2010-106225
出願日: 2008年12月04日
公開日(公表日): 2010年05月13日
要約:
【課題】低誘電率、低CTE、高Tg、十分な靭性且つ溶液加工性を併せ持つ、大規模集積回路の層間絶縁膜材料として実用上有益なポリイミドとその製造方法を提供する。【解決手段】式(1)で表されるテトラカルボン酸二無水物、式(2)で表される反復単位を有するポリイミド前駆体および式(3)で表される反復単位を有するポリイミドにより達成される。但し、式(1)〜式(3)のXはエーテル基またはNH基を表す。そして、式(1)及び式(2)のYは2価の芳香族基または脂肪族基を表す。【選択図】なし
請求項(抜粋):
式(1)で表されるテトラカルボン酸二無水物。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (29件):
4J043PA02
, 4J043PC145
, 4J043PC146
, 4J043QB26
, 4J043RA35
, 4J043SA06
, 4J043SB01
, 4J043TA22
, 4J043TB01
, 4J043UA121
, 4J043UA131
, 4J043UA152
, 4J043UB172
, 4J043UB232
, 4J043UB401
, 4J043VA021
, 4J043VA032
, 4J043VA041
, 4J043VA042
, 4J043XA14
, 4J043XA16
, 4J043XA17
, 4J043XA19
, 4J043YA06
, 4J043ZA11
, 4J043ZA12
, 4J043ZA35
, 4J043ZA42
, 4J043ZB50
引用特許:
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