特許
J-GLOBAL ID：201003024704216745

液晶表示装置、及びその製造方法

発明者：
鈴木 孝明

鈴木 孝明 について

, 
高橋 卓也

高橋 卓也 について


出願人/特許権者：
株式会社 日立ディスプレイズ

株式会社 日立ディスプレイズ について


代理人 (1件)： 小林 保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-232893
公開番号（公開出願番号）：特開2010-066529
出願日： 2008年09月11日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：
【課題】 厚膜銅のパタン加工した断面を順テーパ形状にエッチングすることができ、配線パタンの上に積層する絶縁膜などのカバレッジを良くし、層間短絡などの不良発生を大きく低減可能な液晶表示装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 ガラス基板やインジウムを主成分とする透明導電膜を形成した基板上に、第一層を下層とし、第二層を上層とする積層膜から構成され、第一層は純銅、第二層は銅よりもウェットエッチング加工における溶解度が大きい銅を主成分とする合金で形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
一対の基板と、前記一対の基板に挟持された液晶と、前記一対の基板の一方に形成された複数の走査信号線と、前記走査信号線とマトリクス状に交差する複数の映像信号線と、前記走査信号線と前記映像信号線との交点に対応して形成された薄膜トランジスタと、前記画素領域に形成され前記薄膜トランジスタに接続された画素電極と、前記走査信号線を概ね覆うゲート絶縁膜と、前記映像信号線と前記薄膜トランジスタとを覆う保護絶縁膜とを具備する液晶表示装置おいて, 前記走査信号線または前記映像信号線の少なくとも一方を, 第一層を下層とし、該第一層の上に形成した第二層を上層とする積層膜によって構成し, 前記第一層を99.5%以上の純度を有する銅膜、前記第二層をウェットエッチング加工時の溶解速度が第一層よりも速い銅を主成分とする合金膜で形成したことを特徴とする液晶表示装置。
IPC (6件)：
G02F 1/136 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  H01L 21/28
FI (9件)：
G02F1/1368 ,  H01L29/78 617M ,  H01L29/78 617J ,  H01L29/78 627B ,  H01L29/78 617K ,  H01L29/78 617L ,  H01L21/88 M ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/88 R
Fターム (84件)：
2H092JA26 ,  2H092JA28 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JA46 ,  2H092JA47 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092JB57 ,  2H092JB58 ,  2H092KA05 ,  2H092KA07 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092NA15 ,  2H092NA29 ,  4M104AA09 ,  4M104BB04 ,  4M104BB36 ,  4M104DD37 ,  4M104DD64 ,  4M104FF08 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH13 ,  5F033GG04 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH38 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033MM19 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ21 ,  5F033RR06 ,  5F033SS15 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX02 ,  5F110AA03 ,  5F110AA26 ,  5F110AA28 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE22 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG45 ,  5F110HK02 ,  5F110HK04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK22 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110HL07 ,  5F110HL23 ,  5F110HM03 ,  5F110NN02 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ09
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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