特許
J-GLOBAL ID：201003025223743918
液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエーター装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-135487
公開番号（公開出願番号）：特開2010-280139
出願日： 2009年06月04日
公開日（公表日）： 2010年12月16日
要約：
【課題】耐久性が低下することなく、圧電素子の変位特性を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエーター装置を提供する。【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板上に形成された酸化膜55と、該酸化膜55上に形成された第1電極60と、該第1電極60上に形成された圧電体層70と、該圧電体層70の前記第1電極60とは反対側に設けられた第2電極とを有する圧電素子と、を具備し、前記酸化膜55と前記第1電極60との間には、チタン又はチタンを主成分とする島状の応力緩和層56を前記酸化膜55の表面に亘って点在させる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
該流路形成基板上に形成された酸化膜と、
該酸化膜上に形成された第1電極と、該第1電極上に形成された圧電体層と、該圧電体層の前記第1電極とは反対側に設けられた第2電極とを有する圧電素子と、を具備し、
前記酸化膜と前記第1電極との間には、チタン又はチタンを主成分とする島状の応力緩和層が前記酸化膜の表面に亘って点在していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF51
, 2C057AG12
, 2C057AP32
, 2C057AP52
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
