特許

J-GLOBAL ID：201003025227378122

カーボン膜の作製方法およびカーボン膜

発明者： 梅野 正義 ,  内田 秀雄 ,  野田 三喜男 ,  田中 光浩 ,  富田 美穂
出願人/特許権者： 学校法人中部大学 ,  日本碍子株式会社
代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-224658
公開番号（公開出願番号）：特開2010-229013
出願日： 2009年09月29日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：

【課題】新規な構造を有し、従来にない優れた特性を発現するカーボン膜を提供する。【解決手段】パルス放電プラズマによってメタン、エタン、エチレン、アセチレンなどの種々の炭化水素ガスその他の原料ガスを分解および励起することにより、鉄、ニッケル、コバルト、白金などの触媒金属が担持されたアルミニウム、銅その他の基板上に、それぞれが微小なカーボンナノファイバーの集合体である多数の略円柱状あるいは略針状の突起を一方向に一様に延在してなる構造のカーボン膜を形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

カーボン膜の作製方法であって、 パルス放電プラズマによって炭素を含有する原料ガスを分解および励起することにより、所定の触媒金属が担持された基板上に、それぞれが微小なカーボンナノファイバーの集合体である多数の略円柱状あるいは略針状の突起を一方向に一様に延在してなる構造のカーボン膜を形成する、 ことを特徴とするカーボン膜の作製方法。

IPC (1件)：

C01B 31/02

FI (1件)：

C01B31/02 101F

Fターム (23件)：

4G146AA11 ,  4G146AB07 ,  4G146AC03B ,  4G146AC20B ,  4G146AD24 ,  4G146AD28 ,  4G146BA09 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB22 ,  4G146BB23 ,  4G146BC09 ,  4G146BC16 ,  4G146BC25 ,  4G146BC27 ,  4G146BC32B ,  4G146BC33B ,  4G146BC38B ,  4G146BC42 ,  4G146BC44 ,  4G146DA03 ,  4G146DA16 ,  4G146DA41