特許

J-GLOBAL ID：201003025554592162

感光性組成物

発明者： 鹿毛 崇至 ,  中村 秀 ,  西村 貴史 ,  渡邉 貴志
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
代理人 (2件)： 宮▲崎▼ 主税 ,  目次 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-025196
公開番号（公開出願番号）：特開2010-181647
出願日： 2009年02月05日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：

【課題】高温に晒されたとしても、黄変などの変色が生じ難いレジスト膜を形成することを可能とする感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)重合性炭化水素モノマー及び重合性炭化水素ポリマーの内の少なくとも一方の重合性炭化水素化合物と、(B)分子中に環状エーテル骨格を有し、かつ直鎖エーテル骨格を持たないエポキシ化合物と、(C)白色フィラーとを含有し、前記(C)白色フィラーが、該白色フィラー5gを純水100mLに加えた液を加熱し、5分間沸騰させた後、23°Cに達するまで静置し、沸騰処理液を得、次に得られた沸騰処理液に、沸騰により蒸発した水量の水を加えて水量を100mLとした液のpHを測定したとき、pH6.8以上、11以下の値を示す白色フィラーである、感光性組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)重合性炭化水素モノマー及び重合性炭化水素ポリマーの内の少なくとも一方の重合性炭化水素化合物と、 (B)分子中に環状エーテル骨格を有し、かつ直鎖エーテル骨格を持たないエポキシ化合物と、(C)白色フィラーとを含有し、 前記(C)白色フィラーが、該白色フィラー5gを純水100mLに加えた液を加熱し、5分間沸騰させた後、23°Cに達するまで静置し、沸騰処理液を得、次に得られた沸騰処理液に、沸騰により蒸発した水量の水を加えて水量を100mLとした液のpHを測定したときに、pH6.8以上、11以下の値を示す白色フィラーである、感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/038 ,  H05K 3/28

FI (4件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/038 501 ,  H05K3/28 D

Fターム (22件)：

2H025AA11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC52 ,  2H025CA01 ,  2H025CA28 ,  2H025CC08 ,  2H025CC12 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314BB01 ,  5E314BB11 ,  5E314CC01 ,  5E314FF05 ,  5E314GG08