感放射線性樹脂組成物、硬化膜及びその形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：天野一規 , 藤本勝誠 , 藤井康輔 , 池田義典 , 宮崎悟 , 小川博生 , 加藤早苗 , 奥谷優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-084098
公開番号（公開出願番号）：特開2010-277069
出願日： 2010年03月31日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

【課題】スリット塗布法を採用した場合であっても、塗膜に微小な凹凸からなるムラを発生させることなく、高速塗布が可能であり組成物溶液の省液化を可能にする感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 (A)アルカリ可溶性樹脂、(B)重合性不飽和化合物、(C)感放射線性重合開始剤及び(D)下記式(1)で示される溶剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物によって達成される。(式(1)中、R1及びR2は、それぞれ独立して、炭素数4又は5の直鎖状又は分岐状のアルキル基である。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂、 (B)重合性不飽和化合物、 (C)感放射線性重合開始剤、及び (D)下記式(1)で示される溶剤を含有する感放射線性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/004 , G03F 7/031 , G03F 7/032 , C08F 2/50 , C08F 2/44 , C08F 265/06 , C08F 290/12 , H01L 21/027 , G03F 7/038

FI (9件)：

G03F7/004 501 , G03F7/031 , G03F7/032 501 , C08F2/50 , C08F2/44 C , C08F265/06 , C08F290/12 , H01L21/30 502R , G03F7/038 501

Fターム (121件)：

2H125AC31 , 2H125AC35 , 2H125AC36 , 2H125AC37 , 2H125AC47 , 2H125AC58 , 2H125AC72 , 2H125AD02 , 2H125AD06 , 2H125AD14 , 2H125AD24 , 2H125AE13P , 2H125AE18P , 2H125AM13P , 2H125AM22P , 2H125AM32P , 2H125AM48P , 2H125AN11P , 2H125AN31P , 2H125AN35P , 2H125AN36P , 2H125AN37P , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN58P , 2H125AN72P , 2H125BA01P , 2H125BA05P , 2H125BA13P , 2H125BA32P , 2H125CA22 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 4J011AA05 , 4J011AC04 , 4J011PA40 , 4J011PA69 , 4J011PB30 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA03 , 4J011QA13 , 4J011QA22 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QA25 , 4J011QA34 , 4J011QA35 , 4J011QB03 , 4J011RA03 , 4J011RA11 , 4J011SA15 , 4J011SA16 , 4J011SA25 , 4J011SA78 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J026AA45 , 4J026AA46 , 4J026AA47 , 4J026AA48 , 4J026AC09 , 4J026AC23 , 4J026AC24 , 4J026BA27 , 4J026BA28 , 4J026BA30 , 4J026DA08 , 4J026DB06 , 4J026DB09 , 4J026DB36 , 4J026EA03 , 4J026FA05 , 4J026GA07 , 4J127AA03 , 4J127AA04 , 4J127BB041 , 4J127BB081 , 4J127BB221 , 4J127BC031 , 4J127BD061 , 4J127BE05X , 4J127BE051 , 4J127BE11X , 4J127BE111 , 4J127BE24X , 4J127BE241 , 4J127BE34X , 4J127BE341 , 4J127BE51Y , 4J127BE511 , 4J127BG04X , 4J127BG041 , 4J127BG05X , 4J127BG051 , 4J127BG16X , 4J127BG161 , 4J127BG17X , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127BG27Y , 4J127BG271 , 4J127CB154 , 4J127CB343 , 4J127CB371 , 4J127CB372 , 4J127CC092 , 4J127CC111 , 4J127CC112 , 4J127CC153 , 4J127CC154 , 4J127CC163 , 4J127CC164 , 4J127DA17 , 4J127EA13 , 4J127FA16 , 4J127FA31 , 4J127FA41

引用特許：

出願人引用 (2件)

インクジェット方式カラーフィルタ用樹脂組成物、カラーフィルタおよび液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-062322 出願人：JSR株式会社
特開平3-179450

審査官引用 (2件)

インクジェット方式カラーフィルタ用樹脂組成物、カラーフィルタおよび液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-062322 出願人：JSR株式会社
特開平3-179450

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