特許
J-GLOBAL ID:201003027391346730
感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
廣田 浩一
, 流 良広
, 松田 奈緒子
, 池田 浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-087233
公開番号(公開出願番号):特開2010-237570
出願日: 2009年03月31日
公開日(公表日): 2010年10月21日
要約:
【課題】高い感度と、安定性とを両立させるとともに、現像残渣を低減して、耐熱性、現像性、基板密着性等の特性にも優れる感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン形成方法を提供すること。【解決手段】本発明の感光性組成物は、バインダ樹脂(A成分)、エチレン性不飽和二重結合を少なくとも1つ有する重合性化合物(B成分)、光重合開始成分(C成分)、連鎖移動剤(D成分)、熱架橋剤(E成分)、及び溶剤(F成分)を含有し、前記連鎖移動剤(D成分)が、下記構造式(1)に示すN-アリール-α-アミノ酸化合物を含むことを特徴とする。【化22】 ただし、前記構造式(1)中、X1、X2、R1、R2、R3、R4、及びR5が水素原子及び官能基のいずれかを表し、X1、X2、R1、R2、R3、R4、及びR5の少なくとも一つが官能基である。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
バインダ樹脂(A成分)、エチレン性不飽和二重結合を少なくとも1つ有する重合性化合物(B成分)、光重合開始成分(C成分)、連鎖移動剤(D成分)、熱架橋剤(E成分)、及び溶剤(F成分)を含有し、
前記連鎖移動剤(D成分)が、下記構造式(1)に示すN-アリール-α-アミノ酸化合物を含むことを特徴とする感光性組成物。
IPC (4件):
G03F 7/004
, G03F 7/038
, G03F 7/40
, C08F 2/38
FI (5件):
G03F7/004 501
, G03F7/004 512
, G03F7/038 501
, G03F7/40 501
, C08F2/38
Fターム (46件):
2H096AA26
, 2H096BA05
, 2H096BA06
, 2H096EA02
, 2H096EA04
, 2H096EA23
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 2H096JA04
, 2H125AC36
, 2H125AC46
, 2H125AC72
, 2H125AD02
, 2H125AD06
, 2H125AD14
, 2H125AD15
, 2H125AD24
, 2H125AE15P
, 2H125AN03P
, 2H125AN38P
, 2H125AN47P
, 2H125AN59P
, 2H125AN94P
, 2H125BA02P
, 2H125BA13P
, 2H125BA16P
, 2H125BA20P
, 2H125BA22P
, 2H125BA32P
, 4H006AA01
, 4H006AB48
, 4H006BJ50
, 4H006BR10
, 4H006BS10
, 4H006BS30
, 4J011NA13
, 4J011NA20
, 4J011NB04
, 4J011SA01
, 4J011SA21
, 4J011SA65
, 4J011SA76
, 4J011SA78
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011WA01
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