フレキシブル発光装置及びその作製方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-183171
公開番号（公開出願番号）：特開2010-073683
出願日： 2009年08月06日
公開日（公表日）： 2010年04月02日
要約：

【課題】結晶質シリコンを用いたTFTを備えた、画質の良好なフレキシブル発光装置を提供する。【解決手段】下地絶縁膜102と、下地絶縁膜102の第1の面に形成された薄膜トランジスタと、下地絶縁膜102の第1の面に、薄膜トランジスタを介して形成された層間絶縁膜111と、該第1の面の裏面である第2の面に形成された第1の画素電極116と、該第2の面に、第1の画素電極116を介して形成されたエレクトロルミネッセンス層と、該第2の面に、第1の画素電極116及びエレクトロルミネッセンス層を介して形成された第2の画素電極119と、層間絶縁膜111に設けられたコンタクトホールにおいて薄膜トランジスタの半導体層と電気的に接続し、且つ少なくとも層間絶縁膜111及び下地絶縁膜102を貫通する貫通孔112において第1の画素電極116と電気的に接続する配線113eと、を有するフレキシブル発光装置を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

下地絶縁膜と、前記下地絶縁膜の第1の面に形成された薄膜トランジスタと、前記下地絶縁膜の前記第1の面に、前記薄膜トランジスタを介して形成された層間絶縁膜と、前記下地絶縁膜の前記第1の面の裏面である第2の面に形成された第1の画素電極と、前記下地絶縁膜の前記第2の面に、前記第1の画素電極を介して形成されたエレクトロルミネッセンス層と、前記下地絶縁膜の前記第2の面に、前記第1の画素電極及び前記エレクトロルミネッセンス層を介して形成された第2の画素電極と、前記層間絶縁膜に設けられたコンタクトホールにおいて前記薄膜トランジスタの半導体層と電気的に接続し、且つ少なくとも前記層間絶縁膜及び前記下地絶縁膜を貫通する貫通孔において前記第1の画素電極と電気的に接続する配線と、を有するフレキシブル発光装置。

IPC (11件)：

H05B 33/02 , H05B 33/10 , H01L 51/50 , H05B 33/26 , G09F 9/30 , H01L 27/32 , G09F 9/00 , H01L 21/336 , H01L 29/786 , H01L 21/02 , H01L 27/12

FI (11件)：

H05B33/02 , H05B33/10 , H05B33/14 A , H05B33/26 Z , G09F9/30 338 , G09F9/30 365Z , G09F9/00 348Z , G09F9/00 338 , H01L29/78 627D , H01L27/12 B , H01L29/78 612C

Fターム (76件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC31 , 3K107CC43 , 3K107CC45 , 3K107DD17 , 3K107DD25 , 3K107DD30 , 3K107DD89 , 3K107EE03 , 3K107EE04 , 3K107FF15 , 5C094AA02 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094DA06 , 5C094DA13 , 5C094DB02 , 5C094GB10 , 5C094HA08 , 5F110AA01 , 5F110BB02 , 5F110CC01 , 5F110CC03 , 5F110DD01 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE14 , 5F110EE42 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG04 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG33 , 5F110GG43 , 5F110GG45 , 5F110HL02 , 5F110HL04 , 5F110HL07 , 5F110HM18 , 5F110NN03 , 5F110NN23 , 5F110NN27 , 5F110NN71 , 5F110PP01 , 5F110PP03 , 5F110PP29 , 5F110PP34 , 5F110PP35 , 5F110QQ16 , 5F110QQ28 , 5G435AA01 , 5G435BB05 , 5G435EE10 , 5G435EE47 , 5G435HH13 , 5G435KK05 , 5G435LL07 , 5G435LL08 , 5G435LL14

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