特許
J-GLOBAL ID：201003027827015654

サンプル表面を検査する分光画像形成方法及びシステム

発明者：
ルーセル ベルナール

ルーセル ベルナール について

, 
ラパポール アレクサンドラ

ラパポール アレクサンドラ について

, 
ココタ アレクサンドル

ココタ アレクサンドル について


出願人/特許権者：
オリバ ジョビン イボン エス. アー. エス.

オリバ ジョビン イボン エス. アー. エス. について


代理人 (3件)： 中里 浩一 ,  川崎 仁 ,  三嶋 景治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-503505
公開番号（公開出願番号）：特表2010-525310
出願日： 2008年04月17日
公開日（公表日）： 2010年07月22日
要約：
【課題】 サンプル表面の2次元マップを得るのに必要な時間を減少させることを可能にする、サンプル表面を検査する分光画像形成システムを提供すること。【解決手段】 本発明はサンプル(1)の表面(2)を検査する分光画像形成方法及びシステムに関する。分光画像形成システムは、対物光学系(5)を備える顕微装置又は全体観察装置と、分光計を含む筐体(6)と、サンプル表面(2)上の走査領域を照明するために顕微装置又は全体観察装置の対物光学系(5)と分光計の間に設けられかつサンプル表面(2)を二方向XとYに走査できる走査手段(11)とを備える。発明によれば、励起ビーム(8)が走査領域上を走査している間、走査領域上で測定された発光ビーム(9)のエネルギーは検出手段(10)の画素について積分され、各画素線に対する平均分光データを生成し、記憶手段(12)が検出手段(10)に接続され、各画素線の前記平均分光データは記憶手段(12)に向かって転送され、前記記憶手段(12)はM本の画素線の平均分光データを記憶することができるメモリを備え、画像形成装置(13)が記憶手段(12)に接続され、M本の画素線の前記平均分光データは、走査領域の平均分光画像を得るために前記画像形成装置(13)に向かって同時に送られる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
発光を生み出すためにサンプル表面(2)が励起ビーム(8)で照射され、 前記発光が集光されてエネルギーを有する発光ビーム(9)を形成し、 前記サンプル表面(2)の分光画像を得るために前記発光ビーム(9)のエネルギーが測定される 第1のステップa)を含むサンプル(1)の表面(2)を検査する分光画像形成方法であって、 前記第1のステップa)において、前記サンプル表面(2)上の走査領域(3)を照明しかつ前記走査領域(3)上の前記発光ビーム(9)のエネルギーを測定するために前記励起ビーム(8)は前記サンプル表面(2)上を二方向XとYに走査され、前記走査領域(3)の平均分光画像を得るために前記発光ビーム(9)のエネルギーは前記励起ビーム(8)が前記走査領域(3)上を走査している間に時間tの間積分され、 前記分光画像形成方法はさらに、 前記先行する第1のステップa)が前記サンプル表面(2)の一つ又はいくつかの他の走査領域(3)に対して繰り返され、各走査領域(3)が少なくとも一つの他の走査領域(3)に隣接する第2のステップb)と、 前記測定されたエネルギーにおいて一つ又はいくつかの情報が選択される第3のステップc)と、 少なくとも、選択された情報が前記走査領域(3)内に検出されれば、一つ以上の走査領域(3)がいくつかの更に小さな走査領域(4)に分割される第4のステップd)と を含み、 前記先行するステップa)ないしd)は少なくとも小分割走査領域(4)に適用される ことを特徴とするサンプル(1)の表面(2)を検査する分光画像形成方法。
IPC (1件)：
G01N 21/65
FI (1件)：
G01N21/65
Fターム (14件)：
2G043AA03 ,  2G043EA03 ,  2G043FA02 ,  2G043GA02 ,  2G043GB19 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA09 ,  2G043JA01 ,  2G043JA03 ,  2G043KA02 ,  2G043LA03 ,  2G043MA01 ,  2G043NA06
引用特許：
審査官引用 (4件)
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