特許

J-GLOBAL ID：201003027892171310

露光装置、デバイス製造方法および測定装置

発明者： 戸賀崎 真貴子
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-056978
公開番号（公開出願番号）：特開2010-212457
出願日： 2009年03月10日
公開日（公表日）： 2010年09月24日
要約：

【課題】 別途に測定装置を必要とせずに、原版の透過率の測定及び原版上の異物の検査を行うことができる露光装置を提供する。【解決手段】 露光装置は、光源8bからの光で原版1を照明する照明光学系8と、原版1のパターンを基板4に投影する投影光学系7と、原版1のパターンで回折した回折光の強度分布を検出する検出部24と、検出部24で検出された回折光の強度分布を記憶する記憶部11と、記憶部11に記憶された複数の回折光の強度分布の差に基づいて、原版1上の異物を検出または原版1の透過率を算出する演算部9と、を有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源からの光で原版を照明する照明光学系と、 前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、 前記原版のパターンで回折した回折光の強度分布を検出する検出部と、 前記検出部で検出された前記回折光の強度分布を記憶する記憶部と、 前記記憶部に記憶された複数の前記回折光の強度分布の差に基づいて、前記原版上の異物を検出または前記原版の透過率を算出する演算部と、を有する ことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20

FI (4件)：

H01L21/30 514E ,  G03F1/08 S ,  H01L21/30 503G ,  G03F7/20 521

Fターム (5件)：

2H095BA01 ,  2H095BD05 ,  2H095BD20 ,  2H095BD23 ,  5F046AA18